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大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡ZXGP-800系列

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、儀器的用途:ZXGP-800研究級(jí)大平臺(tái)硅片顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅片的觀察

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迎難而上、儀器的用途:

    ZXGP-800研究級(jí)大平臺(tái)硅片顯微鏡主要用于半導(dǎo)體硅片的觀察積極。它能生產(chǎn)高清晰的圖像,立體感較強(qiáng),成像較清晰和寬闊堅持先行,又具有長(zhǎng)工作距離產業,并具有較大的視場(chǎng)范圍和相應(yīng)的放大倍數(shù),配有高像素的數(shù)碼攝像頭,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微觀形貌分布情況,及硅片的缺陷分析服務(wù).是太陽能電池硅片的普遍專用顯微鏡,在半導(dǎo)體行業(yè)有廣泛應(yīng)用調整推進。

  大平臺(tái)硅片檢測(cè)顯微鏡可以觀察到太陽能電池硅片肉眼難觀測(cè)的位錯(cuò)狀況、劃痕、崩邊等;還可以對(duì)硅片的雜質(zhì)不斷創新、殘留物成分分析.雜質(zhì)包括 顆粒建立和完善、有機(jī)雜質(zhì)、無機(jī)雜質(zhì)參與水平、金屬離子大型、硅粉粉塵等,造成磨片后的硅片易發(fā)生變花明確相關要求、發(fā)藍(lán)重要意義、發(fā)黑等現(xiàn)象,使磨片不合格, 是太陽能電池硅片生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行質(zhì)量控制普通的儀器深化涉外。

二體系、系統(tǒng)簡(jiǎn)介

    大平臺(tái)硅片顯微鏡系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)儀器與計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過光電轉(zhuǎn)換器有機(jī)地結(jié)合在一起,能在計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像開展試點,并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯攜手共進、保存和打印。

三推進一步、技術(shù)參數(shù)經過、

   1.目鏡

類 型

放大倍數(shù)

視場(chǎng)(mm)

大視野目鏡

10X

Φ22

   2.物鏡

類 型

放大倍數(shù)

數(shù)值孔徑(NA)

工作距離(mm)

無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差物鏡(明/暗場(chǎng)物鏡)

4X

0.1

17.80

10X

0.25

10.00

20X

0.40

5.10

40X  

0.60

2.90

   3.光學(xué)放大倍數(shù):40X-400X(選配鏡頭可到1000X)  

   4.三目頭: 30?傾斜, 可全通光攝影

   5.轉(zhuǎn)換器:四孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位

   6.載物臺(tái):三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 300mm×268mm大幅拓展,移動(dòng)范圍250mm×200mm

   7.調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm

   8.落射照明系統(tǒng): 6V 20W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),

                     內(nèi)置視場(chǎng)光欄不合理波動、孔徑光欄相互融合、推拉式檢偏器與起偏器,

   9.濾色片:黃越來越重要的位置、藍(lán)、綠單產提升、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置

  10.防霉系統(tǒng)

四傳遞、系統(tǒng)組成

     ZXGP-800型:1.硅片顯微鏡  2.適配鏡  3.攝像器(CCD) 4.圖像采集卡  5.軟件

五、選購(gòu)件

   1.目鏡: 10X(分劃)                      2.物鏡: 50X   60X   100X(干)

   3.成像系統(tǒng)                               4.專業(yè)軟件

   5.配套電腦



  1.目鏡

類 型

放大倍數(shù)

視場(chǎng)(mm)

大視野目鏡

10X

Φ22

   2.物鏡

類 型

放大倍數(shù)

數(shù)值孔徑(NA)

工作距離(mm)

無限遠(yuǎn)平場(chǎng)消色差物鏡(明/暗場(chǎng)物鏡)

5X

0.12

8.05

10X

0.25

7.86

20X

0.40

7.23

50X

0.70

1.75

80X

0.80

0.80

   3.光學(xué)放大倍數(shù):50X-800X      

   4.三目頭: 30?傾斜, 可99%通光攝影

   5.轉(zhuǎn)換器:五孔內(nèi)向式滾珠內(nèi)定位

   6.載物臺(tái):三層機(jī)械移動(dòng)式尺寸: 280mmX270mm,移動(dòng)范圍: 204mmX204mm  

   7.調(diào)焦機(jī)構(gòu):粗微動(dòng)同軸調(diào)焦,帶鎖緊和限位裝置,微動(dòng)格值:0.7μm

   8.落射照明系統(tǒng): 15V 50W 鹵素?zé)? 亮度與燈炮位置可調(diào),

                     內(nèi)置視場(chǎng)光欄行動力、孔徑光欄提供有力支撐、推拉式檢偏器與起偏器,

   9.濾色片:黃切實把製度、藍(lán)保供、綠、磨砂玻璃濾色片轉(zhuǎn)換裝置

  10.防霉系統(tǒng)

四進行部署、系統(tǒng)組成

     ZXGP-800型:1.硅片顯微鏡  2.適配鏡  3.攝像器(CCD) 4.圖像采集卡  5.軟件

五責任、選購(gòu)件

   1.目鏡: 10X(分劃)                      

   2.物鏡:  40X   60X   100X(干)




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