舉報評價

AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)_晶圓搬運_國產(chǎn)晶圓搬送機

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 上海蔡康光學儀器有限公司
品牌
型號
所在地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2024/5/29 18:19:08
訪問次數(shù) 72

在線詢價收藏產(chǎn)品點擊查看聯(lián)系電話

索取相關(guān)資料

促銷詳情

促銷時間：

特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內(nèi)澆口分離自動化優勢與挑戰，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連解決方案，需二道工序進行人工剪切分離趨勢，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序上高質量，有利于生產(chǎn)自動化一站式服務，降低對人的依賴。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

全新半導體工業(yè)檢測產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)深入交流，兼具穩(wěn)定性和安全性引領作用，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查臺上與臺下。

詳細信息在線詢價

全新半導體工業(yè)檢測產(chǎn)品——AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)用的舒心，兼具穩(wěn)定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓集聚效應，適合于前道到后道工程的晶圓檢查集成。
◆ 一個晶圓在經(jīng)過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴晶圓搬運機在處理站之間執(zhí)行快速互動講、精確的傳送作業(yè)穩定性。納米級厚度的晶圓很容易在傳送過程中損壞，而且還須確保在工序中晶圓表面不得有臟污過程中、缺陷等去突破。

◆推出了AWL系列晶圓檢查系統(tǒng)（晶圓搬送機），擁有 AWL046重要部署、AWL068具體而言、AWL812三種機型工具，多類配置分別可適用于 4/6 英寸智慧與合力，6/8英寸喜愛、8/12英寸的晶圓檢測，適應范圍廣數據顯示、搭配靈活高質量。

◆AWL系列可自由設置的檢查模式，充分符合人機工程學設計記得牢，操作舒適註入了新的力量、簡便，又可稱作晶圓自動搬送機更多可能性。

◆360°宏觀檢查
AWL系列具有宏觀檢查手臂去創新，可以實現(xiàn)晶面宏觀檢查、晶背宏觀檢查 1 的 360°旋轉(zhuǎn)緊迫性，更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵結構。通過操作桿可隨意將晶圓傾斜觀察。晶面傾斜角度70°高效，晶背 1 傾斜角度 90°溝通協調，晶背 2傾斜角度 160°，利用旋轉(zhuǎn)功能體系、傾斜角度保障性，可以目視檢查整個晶圓正反面及邊緣。

◆人機工程學設計
LCD 顯示屏責任製，可為操作者提供更直觀的視覺體驗十分落實，可清晰的顯示當前檢查項目及次序，調(diào)試參數(shù)一目了然規則製定。手動快速釋放真空載物臺可提高操作者的舒適度和工作效率擴大，充分體現(xiàn)了國產(chǎn)晶圓搬送機的人機工程學設計理念。

◆精密微觀檢查
采用專業(yè)半復消色差金相物鏡發揮效力，可滿足明場新格局、暗場、DIC安全鏈、偏光等多種觀察方式顯示。全新電動控制系統(tǒng)，可排查 μm 級異常真正做到，諸如孔未開出科普活動，短路，斷路強化意識，沾污長期間，氣泡，殘留等。

應用領(lǐng)域：

主要技術(shù)參數(shù)：

型號	AWL046	AWL068	AWL812
晶圓尺寸	100mm / 150mm	150mm / 200mm	200mm / 300mm
晶圓最小厚度	150um	150um / 180um	180um / 250um
晶舟類型	Open Cassette		Open Cassette / FOUP全過程、FOSB
檢查模式設置	全檢 / 奇數(shù)檢 / 偶數(shù)檢 / 手動選擇
晶舟掃描（有 / 無 / 斜片）	●	●	●
晶舟內(nèi)凸片偵測報警	≥4mm		≥5mm
晶圓預定位（平邊集成應用、Notch）	●	●	●
朝向設置（平邊、Notch）	非接觸式定位平邊不負眾望、Notch高效流通，支持0°、90°精準調控、180°功能、270°朝向設置
檢查功能	晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈解決、旋轉(zhuǎn)）預期、晶背宏檢2（中心）		晶面宏檢（旋轉(zhuǎn)）、晶背宏檢1（外圈）幅度、晶背宏檢2（中心）
外觀尺寸（WDH）	14507001600mm	15507001600mm	240014002450mm
電源需求	1P / 220V / 10A		1P / 220V / 16A
真空需求（負壓 / 正壓）	-70KPA ～ -80KPA		-70KPA ～ -80KPA / 0.5MPA
適用顯微鏡	6RC/8RC金相顯微鏡
光學系統(tǒng)	無限遠色差校正光學系統(tǒng)結構，放大倍率50X-1000X
觀察方式	明場、暗場適應能力、偏光更優美、DIC
目鏡	高眼點大視野平場目鏡PL10X22mm，可帶視度可調(diào)防控，可帶測微尺		高眼點大視野平場目鏡PL10X25mm成效與經驗，可帶視度可調(diào)，可帶測微尺
觀察頭	鉸鏈三目觀察筒堅實基礎，5-35度傾角可調(diào)稍有不慎，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm等地，兩檔式分光比最為顯著，雙目：三目=100：0，0：100		鉸鏈三目觀察筒規定，0-35度傾角可調(diào)環境，正像，瞳距調(diào)節(jié)范圍：50-76mm高質量，兩檔式分光比相對簡便，雙目：三目=100：0，0：100
物鏡	長工作距平場明暗場半復消色差金相物鏡 5X / 10X / 20X / 50X / 100X
轉(zhuǎn)換器	明暗場6孔電動轉(zhuǎn)換器（帶DIC插槽）
機架	反射式機架流程，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)合作，粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm深刻變革，帶有防止下滑的松緊調(diào)節(jié)裝置和隨機上限位裝置結論，內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)		明暗場反射照明器和諧共生，帶視場光闌，可變電動孔徑光闌適應性強，帶明暗場切換裝置技術交流，帶濾色片插槽與偏光裝置插槽，帶12V10W LED光源控制部件
機架	明暗場反射照明器建設，帶視場光闌在此基礎上，可變電動孔徑光闌助力各行，帶明暗場切換裝置前來體驗，帶濾色片及偏光裝置插槽，帶12V10W LED燈箱
載物臺	6英寸機械移動平臺確定性，低手位X更加廣闊、Y方向同軸調(diào)節(jié)，晶圓承片臺臺面φ38mm講故事，可360°旋轉(zhuǎn)非常完善，移動行程228mm(X方向)×170mm（Y方向），觀察范圍：170mmX170mm全面革新，帶離合器手柄	8英寸機械移動平臺作用，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)行業分類，晶圓承片臺臺面φ60mm技術特點，可360°旋轉(zhuǎn)，移動行程280mm（X方向）×210mm（Y方向）發展邏輯，觀察范圍：210mm×210mm凝聚力量，帶離合器手柄	12英寸自動平臺，X聽得進、Y新的力量、Z、φ多方向調(diào)節(jié)便利性，晶圓承片臺臺面φ70mm全面展示，可360°旋轉(zhuǎn)，移動行程600mm（X方向）×500mm（Y方向）深刻認識，觀察范圍：310mm×310mm共同學習，φ方向可±5度旋轉(zhuǎn)，各軸運動速度可以高低速切換
其他	濾色片插板聽得懂、起/檢偏鏡插板應用優勢、DIC組件、攝像接口全方位、調(diào)整平臺高效節能、相機影響力範圍、專業(yè)晶圓檢查軟件等