產(chǎn)品介紹：
現(xiàn)有機(jī)型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240支撐作用、Regulus8230日漸深入、Regulus8220、Regulus8100同時。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機(jī)型的觀察和分析性能互動式宣講，配備SU8200系列的低噪音冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*1，可以獲得高穩(wěn)定的束流產能提升。
通過優(yōu)化電子光學(xué)系統(tǒng)適應性，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm通過活化。
此外落地生根，為充分發(fā)揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1健康發展。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能有效保障，通過此功能用戶更容易理解各種復(fù)雜信號(hào)的檢測(cè)原理，幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能。
*1 Regulus8240/8230/8220
產(chǎn)品特點(diǎn)：
沿用"SU8200系列"的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間進一步提升，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV空間廣闊、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運(yùn)用能量過濾器(選配)改革創新，可觀察到多種成分對(duì)比度*2
- *2 Regulus8240/8230/8220
產(chǎn)品規(guī)格：
項(xiàng)目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 |
| 二次電子分辨率 | 0.7 nm
（加速電壓15 kV） | 0.6 nm（加速電壓 15 kV）
0.7 nm（著陸電壓 1 kV）*3 |
0.8 nm
（著陸電壓1 kV）*3 |
| 著陸電壓 | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV |
| 放大倍率 | 20～1,000,000倍*4 | 20～2,000,000倍*4 |
樣 品 臺(tái) | 樣品臺(tái)控制 | 3軸馬達(dá)臺(tái)（可選5軸馬達(dá)臺(tái)） | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
移 動(dòng) 范 圍 | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm |
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm |
| R | 360° |
| T | -5～70° |
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm |
| 再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含 |
| ±0.5 µm |
*3 減速模式下觀察
- *4 以127 mm × 95 mm底片為基準(zhǔn)的倍率
