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產(chǎn)品介紹 200 kV相差校正TEM/STEM範圍，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能 通過單極片實現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度非常激烈、高立體角EDX前景。 透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能進一步意見、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點共享應用。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)生產能力。 對于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法取得了一定進展。
產(chǎn)品介紹：
200 kV相差校正TEM/STEM完善好，平衡了空間分辨率和傾斜大面積、分析性能
通過單極片實現(xiàn)0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度積極參與、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續(xù)了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能有望、自動校正功能進一步推進，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術(shù)等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術(shù)方案。
對于包括用戶在內(nèi)的廣泛用戶應用的選擇，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。
※ 附帶第二顯示器（可選）左右，顯示屏為嵌入式合成界面背景下。
產(chǎn)品特點：
1、標配日立生產(chǎn)的照射系統(tǒng)球差校正器（附自動校正功能）
2可靠保障、搭載具有高輝度自然條件、高穩(wěn)定性的冷場FE電子槍
3設計標準、鏡體和電源等的高穩(wěn)定性使機體的性能大幅度提升
4、觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
5互動互補、采用側(cè)面放入樣品的新型樣品臺結(jié)構(gòu)以及樣品桿
6發揮重要帶動作用、支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）
7、采用全新構(gòu)造的機體外殼蓋
8意料之外、配備日立生產(chǎn)的高性能樣品桿*
* 選項
高輝度冷場FE電子槍×高穩(wěn)定性×日立制球面像差校正器
以長年積累起來的高輝度冷場FE電子源技術(shù)為基礎(chǔ)文化價值，進行優(yōu)化，進一步實現(xiàn)電子槍的高度穩(wěn)定性置之不顧。
此外不斷完善，還更新了鏡體，電源系統(tǒng)和樣品臺方便，以支持觀察亞?圖像營造一處，并提升了機械和電氣穩(wěn)定性，然后與日立公司的球差校正器結(jié)合使用知識和技能。
不僅可以穩(wěn)定地獲得更高亮度更精密的探頭取得顯著成效，而且自動像差校正功能可以實現(xiàn)快速校正，從而易于發(fā)揮設(shè)備的固有性能實現。使像差校正可以更實用不容忽視。
Si（211）單晶體HAADF-STEM圖像（左）和圖像強度曲線分布（右下）、FFT功率譜（右上）
支持高立體角EDX*的對稱Dual SDD*
支持雙重配置100 mm2 SDD檢測器服務體系，以實現(xiàn)更高的靈敏度和處理能力進行EDX元素分析說服力。
由于第二檢測器位于檢測器的對面位置，因此分析，幾乎不會因為樣品傾斜新體系，導(dǎo)致X射線中的信號檢測量發(fā)生變化。所以創造，即使是結(jié)晶性樣品不難發現，也不用顧忌信號量，可按照樣品的方向與位置進行元素分析設備製造。
此外發展需要，對于電子束敏感樣品、低X光輻射量的樣品管理，除了原子列映射顯示，在低倍、廣視野的高精細映射等領(lǐng)域也極為有效效率和安。
GaAs（110）的原子柱EDX映射
像差校正SEM圖像/STEM圖像 同時觀察
配有標配二次電子檢測器設計能力，可同時觀察像差校正SEM/STEM圖像。通過同時觀察樣品的表面和內(nèi)部結(jié)構(gòu)深入開展，可以掌握樣品的三維構(gòu)造更為一致。
在像差校正SEM圖像中紮實做，除了可以通過校正球差來提高分辨率之外，還可以獲取更真實地樣品表面圖像至關重要。
Au/CeO2催化劑的SEM/ADF-/BF-STEM圖像（上段）和Au粒子的高分辨率圖像（下段）
主要規(guī)格：
| 項目 | 內(nèi)容 | |
| 電子源 | W（310）冷陰極場發(fā)射型 | |
| 加速電壓 | 200 kV提供深度撮合服務、60 kV*1 | |
| 圓像分辨率 | STEM | 0.078 nm（ADF-STEM圖像） |
| TEM | 0.102 nm（晶格像） | |
| 倍率 | STEM | ×20～×8,000,000 |
| TEM | ×100～×1,500,000 | |
| 樣品微動 | 樣品臺 | 偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺 |
| 樣品尺寸 | 3 mm Φ | |
| 移動范圍 | X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm | |
| 樣品傾斜 | α＝±25°的發生、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1） | |
| 像差矯正器 | 配有日立照射系統(tǒng)球面像差校正器（標配） | |
| 圖像顯示 | PC | Windows® 7 *2 |
| 顯示器 | 27英寸寬屏液晶顯示器（機體控制顯示器組成部分、第二顯示器*1） | |
| 攝像頭 | 標配伸縮式攝像頭 屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察） | |
機體尺寸/重量
| 項目 | 寬度×進深×高度（mm） | 重量（kg） |
| 鏡體（含電子槍） | 1060×1742×2970 | 1940 |
| 機體外殼蓋 | 1678×1970×3157 | 429 |
| 操作臺 | 1400×819×740 | 132 |
| 擴展操作臺*1 | 580×819×740 | 53 |
| FE槽 | 1041×840×1317 | 482 |
| V0槽 | 398×630×1046 | 164 |
| 控制電源 | 1400×693×816 | 173 |
| 像差校正器電源 | 606×529×1096 | 81 |
| 排氣系統(tǒng)電源 | 913×663×1790 | 378 |
| 轉(zhuǎn)向系統(tǒng)電源 | 913×663×1790 | 394 |
| 配重塊 | 290×130×130 | 23 |
| Gatan控制器*1*3 | 576×648×1173 | 150 |
| 冷卻水控制裝置 | 470×540×350 | 25 |
| 冷卻水循環(huán)裝置*1*3 | 970×970×1064 | 95 |
| 干式泵*1 | 252×400×336 | 23 |
| 空壓機*1 | 275×560×576 | 25 |
安裝條件
| 項目 | 內(nèi)容 | |
| 室溫 | 15~23℃（溫度變化：0.2℃/h以內(nèi)） | |
| 濕度 | 40~60%RH | |
| 電源 | 機體 | 單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz新的動力、10 kVA 斷路器容量 50 A |
| 冷卻水循環(huán)裝置*1*3 | 三相AC200 V ±5%的過程中、50/60 Hz、30 A | |
| 接地 | D種接地（100 Ω以下） | |
| 冷卻水 | 水量 | 5.1～5.3 L/min 1系統(tǒng)廣泛關註、2.0～2.2 L/min 1系統(tǒng) （水壓0.25 MPa） |
| 水溫 | 16～18℃（變動：±0.1℃以內(nèi)） | |
| 氣體 | SF6 | 99.9%以上促進進步、180 k～200 kPa |
| 干氮 | 99.9%以上、0～100 kPa | |
| 壓縮空氣 | 600 k～800 kPa | |
購買之前優勢領先，請設(shè)置預(yù)定安裝處測量振動迎來新的篇章、磁場和噪聲，如果超過容許值推動並實現，請務(wù)必另行咨詢薄弱點。
關(guān)于容許值，請另行咨詢積極回應。
備注*1：選項重要性。*2：Windows是在美國以及其他國家的注冊的美國Microsoft Corp.商標。*3：規(guī)格多種場景、尺寸均根據(jù)廠家多元化服務體系、型號和配置的不同而會有所不同。
布局示例：
※ 使用上述配置(包含維護工具）擴大公共數據，整體設(shè)備總重量約為5,000kg深度。
※ 請檢查地面強度（kg/m2）＞3×設(shè)備總重量（kg）/占地面積（m2）。
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