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高通量(場發(fā)射)掃描電子顯微鏡3

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產(chǎn)品介紹NavigatorSEM-100-SEMI高通量(場發(fā)射)掃描電子顯微鏡聚束科技獨(dú)立研發(fā)并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的NavigatorSEM-100高通量(場發(fā)射)掃描電子顯微鏡要素配置改革,通過對成像技術(shù)體系、運(yùn)動平臺、電路控制及智能算法的系統(tǒng)化創(chuàng)新設(shè)計帶動產業發展,實(shí)現(xiàn)了高通量成像責任製,成像速度可達(dá)到傳統(tǒng)電鏡的數(shù)十倍以上

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產(chǎn)品介紹
NavigatorSEM-100-SEMI高通量(場發(fā)射)掃描電子顯微鏡

聚束科技獨(dú)立研發(fā)并擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的NavigatorSEM-100高通量(場發(fā)射)掃描電子顯微鏡,通過對成像技術(shù)倍增效應、運(yùn)動平臺規則製定、電路控制及智能算法的系統(tǒng)化創(chuàng)新設(shè)計,實(shí)現(xiàn)了高通量成像優化服務策略,成像速度可達(dá)到傳統(tǒng)電鏡的數(shù)十倍以上關規定。其全部采用直接電子探測器的技術(shù)方案,成功克服了傳統(tǒng)SEM技術(shù)在速度兩個角度入手、精度和樣品損傷等方面的局限性建強保護,性地將掃描電鏡從傳統(tǒng)意義上的納米“照相機(jī)”提升為納米“攝像機(jī)”。同時操作簡單生產效率,全自動一鍵換樣使命責任,7*24小時無人值守運(yùn)行,全面提升科研效率使用。 我們將成熟的工業(yè)化高通量電鏡檢測技術(shù)應(yīng)用在生命科學(xué)合規意識、材料研究、半導(dǎo)體工業(yè)有效性、地質(zhì)資源等領(lǐng)域創新內容。尤其在神經(jīng)生物學(xué)3D重構(gòu)機遇與挑戰、材料大面積表面分析、半導(dǎo)體反向工程善於監督、納米技術(shù)分析等應(yīng)用領(lǐng)域有顯著優(yōu)勢提單產。

肖特基場發(fā)射電子槍
SORRILTM復(fù)合式電磁物鏡系統(tǒng)
光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)
全自動樣品交換系統(tǒng)
聚焦跟蹤系統(tǒng)
納米級運(yùn)動平臺
實(shí)時運(yùn)算圖像處理服務(wù)器

* NavigatorSEM-100詳細(xì)信息

特性優(yōu)勢
    極速成像
    高質(zhì)量成像
    跨尺度大規(guī)模成像
    智能分析
    操作簡單

極速成像

通過創(chuàng)新的硬件和軟件設(shè)計貢獻,實(shí)現(xiàn)二次電子與背散射電子雙通道同步成像:視頻級高分辨成像2×100M像素/秒,6秒鐘即可拍攝一張6億像素高清圖像(區(qū)域:50μm×50μm分辨率:24K×24K )穩中求進。相較傳統(tǒng)意義掃描電鏡統籌,其掃描速度高出一個數(shù)量級以上。

高清視頻級攝像幀率(2×200幀/秒@512×512協同控製,或2×60幀/秒@1024×1024)振奮起來,使其具有實(shí)時觀測樣品動態(tài)變化的能力。

基本指標(biāo)
NavigatorSEM-100-SEMI高通量(場發(fā)射)掃描電子顯微鏡
參數(shù)類型參數(shù)值
分辨率

1.5nm@1kV

1.2nm@3kV

1.0nm@5kV

加速電壓0.1 kV - 12 kV
放大倍數(shù)500X - 600,000X(SEM)
1X - 500X(光學(xué))
束斑電流50pA-300nA
圖像大小512X512像素-24kX24k像素
圖像采集速度

雙通道同時采集2×100M 像素/秒

駐留時間(Dwell Time)10納秒/像素


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