極速成像

通過創(chuàng)新的硬件和軟件設(shè)計，實現(xiàn)二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級高分辨成像2×100M像素/秒深度，6秒鐘即可拍攝一張6億像素高清圖像（區(qū)域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）帶動擴大。相較傳統(tǒng)意義掃描電鏡核心技術體系，其掃描速度高出一個數(shù)量級以上。

高清視頻級攝像幀率（2×200幀/秒@512×512持續發展，或2×60幀/秒@1024×1024）必然趨勢，使其具有實時觀測樣品動態(tài)變化的能力。

高質(zhì)量成像

SORRIL^TM復(fù)合式電磁物鏡系統(tǒng)供給，有效地減小低落點能量下物鏡的像差的方法，達到分辨能力（1.5nm @ 1 kV， 1.0nm @ 5 kV）進行探討。

與物鏡系統(tǒng)復(fù)合的靜電式掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)落到實處，相比于傳統(tǒng)電鏡的磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，極大地減小圖像邊沿畸變最新，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um技術創新，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的圖像製造業。

In-Lens SE與BSE半導(dǎo)體直接電子探測器優化服務策略，雙通道同時高速成像，兼具高靈敏度和高信號電子收集效率發展基礎，即使在n別的大束流條件仍可獲得高質(zhì)量的圖像襯度和信噪比兩個角度入手。

配備主動補償系統(tǒng)（激光干涉振動補償、電磁干擾主動補償）同期，消除環(huán)境因素干擾生產效率，保證成像高分辨力高質(zhì)量。

跨尺度大規(guī)模成像

高速掃描成像能力效果，結(jié)合全自動聚焦跟蹤系統(tǒng)和A.I.圖像處理算法使用，實現(xiàn)對超大區(qū)域（150mm*150mm）樣品進行高分辨率全自動不間斷矩陣式掃描，并自動拼接獲得大尺寸納米級分辨率的全景地圖式成像密度增加，使之具備了跨尺度信息融合能力有效性，可實現(xiàn)從納米級到毫米級的跨尺度材料表征。

智能分析

大數(shù)據(jù)智能分析 機遇與挑戰，海量SEM圖像快速生成數(shù)據(jù)分析報告廣泛關註；

智能圖像處理，定制化圖像測量集成技術、統(tǒng)計深入實施、分析。

操作簡單

全自動樣品載入與導(dǎo)航發展空間，一鍵換樣。大視場光學(xué)成像導(dǎo)航與SEM成像無縫銜接有所應，對區(qū)域快速準(zhǔn)確實現(xiàn)定位和觀測足了準備。

7*24小時全自動化無人值守運行能力合作關系。