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激光檢測原子力顯微鏡(激光型)

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產(chǎn)品型號:WinSPM L? 傳統(tǒng)的原子力顯微鏡? 采用激光檢測型探針? 多功能模式更默契了、研究級? 經(jīng)典傳承先進技術、品質

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產(chǎn)品簡介:

采用傳統(tǒng)激光檢測探針的原子力顯微鏡(AFM),經(jīng)典傳承不合理波動、品質宣講手段。集成了多模式和多功能的、國際和研究級的掃描探針顯微鏡產(chǎn)品積極拓展新的領域。



儀器特點

  • 采用激光探測探針配套設備,支持接觸模式和輕敲模式的形貌成像。

  • 具備力-距離曲線競爭力所在、振幅-距離曲線引人註目、相移-距離曲線等測量分析功能。

  • 采用高精度嵌入式測控系統(tǒng)體系流動性,主機隔音抗震設計探索創新,抗干擾能力強。

  • 可擴展納米加工實現了超越、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡等掃描探針顯微鏡功能去完善。

  • 可選配不同掃描范圍的管型掃描器橋梁作用,或平面閉環(huán)型掃描器。

  • 可通過選配模塊和擴展接口增強系統(tǒng)功能求索。

激光檢測示意圖



主要技術參數(shù)

  • 一鍵式快速自動進樣讓人糾結,行程23mm規模,最小步距50nm。

  • 手動調節(jié)樣品檢測位置基石之一,調節(jié)范圍±10.0mm聯動。

  • 樣品尺寸的直徑20mm,厚度20mm共同努力。

  • 標配管型掃描器行業內卷,掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

  • 樣品逐行掃描成像逐漸完善,掃描成像速率0.1-30行/秒參與能力。

  • 一次掃描多幅圖像,圖像分辨高達1024×1024物理象素是目前主流。

  • 內置數(shù)某浞职l揮;旌辖Y構的鎖相放大器,數(shù)字化PID反饋控制的響應時間為10μs充分發揮。

  • 嵌入式測控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器(ARM + DSP)選擇適用,與上位機連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。



標準配置:

  • 主控制器

  • 主機底座及隔音罩

  • 主機探頭及探針架(L型)

  • 手動樣品調節(jié)臺(調節(jié)范圍±10.0mm)

  • 管型掃描器(掃描范圍20μm)

  • 計算機及專用測控軟件

  • 儀器附件

L型探針架(上:正面設計;下:背面)


選配模塊:

  • 納米加工模塊業務指導,包括:圖形化納米加工、機械刻蝕提供堅實支撐、矢量掃描等功能

  • 掃描隧道顯微鏡(STM)模塊還不大,包括:掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架(WinSPM T-Probe)  

  • 輔助觀察光學顯微鏡系統(tǒng):物鏡倍數(shù):0.7X~4.5X取得明顯成效;總放大倍數(shù):42-266X連續(xù)可調(14”有效顯示面積)約定管轄;工作距離:115mm 

  • 管型掃描器模塊:掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格

  • 平面閉環(huán)掃描器:掃描范圍為30μm×30μm×9μm創新的技術,閉環(huán)分辨率約1.5nm發揮,垂直方向的諧振頻率約為40kHz

  • 導電原子力顯微鏡(C-AFM)

  • 靜電力顯微鏡(EFM)

  • 磁力顯微鏡(MFM)



應用領域及實驗

  • 實驗一:原子力顯微鏡的基本原理與應用,典型的應用領域為納米研究快速增長、教學教育開放以來。

  • 實驗二:原子力顯微鏡形貌成像及分析,典型實驗內容包括:軟磁盤或光盤等常規(guī)樣品形貌成像及分析高質量、光柵樣品的形貌成像及關鍵尺寸測量提供了有力支撐、納米臺階的測量分析。

  • 實驗三:譜曲線測量與納米力學實驗前景,典型實驗內容包括:力-距離曲線的測量分析進一步意見、液體膜厚度的測量與分析。

  • 實驗四:掃描隧道顯微鏡(STM)共享應用,包括形貌成像和隧道譜生產能力。(需增配STM模塊)

  • 實驗五:納米加工實驗標準,如圖形化納米刻蝕實驗。(需增配納米加工模塊) 

  • 實驗六:其它基于特殊針尖或實驗方法的原子力顯微鏡的應用領域堅持好,包括:導電原子力顯微鏡(C-AFM)即將展開、靜電力顯微鏡(EFM)、磁力顯微鏡(MFM)等特性。(需增配或定制相應的功能模塊)傳承。

儀器整體照片

磁盤形貌圖(3×3μm)




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