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LEXT OLS4100

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 昂伽儀器(上海)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 上海市
  • 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間 2015/12/3 17:00:00
  • 訪問次數(shù) 596

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LEXT OLS4100是一款激光掃描顯微鏡,通過非接觸的方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測(cè)量相對較高。zui高分辨率達(dá)10nm資源配置,可以方便快捷地獲取影像,同時(shí)配備豐富的測(cè)量功能

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

主機(jī)
LSM 部分光源相關、檢出系統(tǒng)光源:405 nm 半導(dǎo)體激光
檢出系統(tǒng):光電倍增管
總倍率108x ~ 17,280x
變焦光學(xué)變焦1x ~ 8x
測(cè)量平面測(cè)量重復(fù)性00x: 3σn-1=0.02 µm
正確性測(cè)量值的±2%以內(nèi)
高度測(cè)量方式物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動(dòng)方式
行程10 mm
內(nèi)置比例尺0.8 nm
移動(dòng)分辨率10 nm
顯示分辨率1 nm
重復(fù)性50x: σn-1=0.012 μm
正確性0.2 + L/100 μm 以下(L=測(cè)量長(zhǎng)度μm)
彩色觀察部分光源大力發展、檢查系統(tǒng)光源:白色LED豐富內涵,
檢查系統(tǒng):1/1.8 英寸200 萬像素單片CCD
變焦數(shù)碼變焦1x ~ 8x
物鏡轉(zhuǎn)換器6 孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
微分干涉單元微分干涉滑片:U-DICR,
內(nèi)置偏振光片單元
物鏡明視場(chǎng)平面半消色差透鏡5x產能提升、10x
LEXT 平面復(fù)消色差透鏡20x適應性、50x、100x
Z 對(duì)焦部分行程100 mm
XY 載物臺(tái)100×100 mm(電動(dòng)載物臺(tái))通過活化,
選件: 300×300 mm(電動(dòng)載物臺(tái))

此設(shè)備為專為在工業(yè)環(huán)境下實(shí)施檢測(cè)設(shè)計(jì)的A 類設(shè)備落地生根。如在住宅區(qū)內(nèi)使用可能會(huì)干擾其他設(shè)備。

物鏡
型號(hào)倍率視場(chǎng)工作距離(WD)數(shù)值孔徑(N/A)
MPLFLN5X108x-864x2,560-320 μm20.0 mm0.15
MPLFLN10X216x-1,728x1,280-160 μm11.0 mm0.30
MPLAPON20XLEXT432x-3,456x640-80 μm1.0 mm0.60
MPLAPON50XLEXT1,080x-8,640x256-32 μm0.35 mm0.95
MPLAPON100XLEXT2,160x-17,280x128-16 μm0.35 mm0.95


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