干泵氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度高應用擴展、操作便捷體驗區、低維護(hù)增多，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測試結(jié)果

干泵氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度高有望、操作便捷共享應用、低維護(hù)，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測試結(jié)果標準。

　　產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所示範推廣、航空航天、半導(dǎo)體即將展開、半導(dǎo)體氣柜大幅增加，光伏等行業(yè)。

　　功能描述

　　支持正壓檢漏傳承，負(fù)壓檢漏

　　自動(dòng)跟蹤本底等特點，提供快速可靠的測量結(jié)果

　　優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

　　高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

　　支持氮?dú)馄瓶斩喾N，不受環(huán)境氦氣干擾將進一步，快速降低本底

　　機(jī)器的性能支持7*24小時(shí)長時(shí)間在線測試

　　機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測試

　　配有檢漏口精細(xì)過濾器，過濾細(xì)微雜質(zhì)發展成就，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷

　　雙銥絲離子源成就，有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防大氣沖擊

　　支持定制檢漏工作臺開展面對面，更加便捷使用

　　技術(shù)參數(shù)

　　最小可檢漏率（負(fù)壓模式） 5×10-13Pa·m3/s

　　最小可檢漏率（正壓模式） 1×10-8Pa·m3/s

　　檢漏口壓強(qiáng) 粗檢 1500Pa

　　中檢 200Pa

　　精檢 40Pa

　　響應(yīng)時(shí)間 ＜1s

　　啟動(dòng)時(shí)間 ≤3min

　　前級渦旋干泵抽速 10m3/h

　　外形尺寸（W×D×H） 845×465×988

　　重量 80Kg