OPF-H-C系列高性能氣浮隔振光學(xué)平臺(tái)是我司結(jié)合多年在隔振領(lǐng)域的研發(fā)及應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)，引進(jìn)國(guó)際的隔振技術(shù)而開發(fā)出的一款高性能科研級(jí)隔振平臺(tái)讓人糾結。該隔振平臺(tái)的氣浮隔振腿內(nèi)部采用了零摩擦三線擺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)規模，可以更大程度的隔離水平方向上的振動(dòng)。在隔振器設(shè)計(jì)中還引入了大柔性體積的混合腔室設(shè)計(jì)和層流阻尼技術(shù)基石之一，大大降低了固有頻率和提高了阻尼效率聯動。

整體分為臺(tái)面、圓柱形獨(dú)立氣浮隔振器共同努力、氣泵三部分生產體系。臺(tái)面內(nèi)部采用桁架式六角蜂窩結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，垂直粘接的三芯蜂窩很重要，每個(gè)蜂窩單元都使用三重芯板接觸面能力和水平，確保了的剛度和的蜂窩芯與面板、底板粘合接觸面積異常狀況，極大提高了平臺(tái)整體的粘接強(qiáng)度和性能研究，蜂窩芯密度：≥260kg/m³。每個(gè)螺紋孔下面都有一個(gè)高強(qiáng)度耐腐蝕的隔離杯（孔深~20mm）應用創新，便于用戶取回小零件或樣品提高，同時(shí)也起到防水防塵等作用。上臺(tái)面材料選用1Cr17高導(dǎo)磁不銹鋼的特性，表面亞光密迪紋理處理交流，具有很好的耐腐蝕性能。

主要應(yīng)用于超高分辨光學(xué)成像提供堅實支撐、超快實(shí)驗(yàn)還不大、激光干涉實(shí)驗(yàn)、量子光學(xué)信息化技術、精密光學(xué)測(cè)量等對(duì)振動(dòng)有非常高要求的精密實(shí)驗(yàn)約定管轄。

的技術(shù)設(shè)計(jì)（示意圖）：

固有頻率測(cè)試結(jié)果（上圖為垂直方向，下圖為水平方向）：

隔振效率：

技術(shù)參數(shù)：

l 水平方式：自動(dòng)充氣創新的技術，自動(dòng)平衡

l 固有頻率：1～1.7Hz（垂直）發揮，1～1.4Hz（水平）

l 隔振效率：垂直隔振87%-94%@5Hz，92%-97%@10Hz快速增長；水平隔振80%-90%@5Hz開放以來，92%-98%@10Hz

l 重復(fù)定位精度：±0.10mm

l 自平衡氣浮隔振腿：內(nèi)部采用的三線擺設(shè)計(jì)，大柔性體積的混合腔室結(jié)構(gòu)高質量，層流阻尼技術(shù)提供了有力支撐。獨(dú)立大圓柱腿，高性能復(fù)合材料氣囊

l 臺(tái)面厚度：100/150/200/250/300/400mm

l 臺(tái)面平面度：≤±0.1mm/m²

l 臺(tái)面粗糙度：0.6~1.5μm

l 臺(tái)面孔間距：25mm（機(jī)械打孔）逐步改善，孔徑：M6螺紋孔意見征詢，孔邊距：37.5mm

l 總高度：800mm提升，可調(diào)范圍：±10mm

l 無油氣泵，噪音<50db

選型表：

部分客戶案例：

浙江大學(xué)（規(guī)格：3000*1500*800mm）

西湖大學(xué)