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UVISEL Plus橢偏儀

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基于25年經(jīng)驗情況較常見,UVISELPlus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制可持續,可用于各種樣品的精確測量,的FastAcqTM快速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的2倍體製,從而能獲得界面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息

詳細(xì)信息 在線詢價

基于25年經(jīng)驗構建,UVISEL Plus相位調(diào)制橢偏儀提供純正有效的偏振調(diào)制,可用于各種樣品的精確測量服務延伸,的FastAcqTM快速采集技術(shù)使得測試靈敏度提高至原有的2倍共創輝煌,從而能獲得界面薄膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息∵M一步?稍?分鐘以內(nèi)實現(xiàn)高分辨的樣品測試(190-2100nm)大部分,校準(zhǔn)僅需幾分鐘。模塊化設(shè)計實際需求,可靈敏拓展解決方案,具有更好的可升級性能。UVISEL Plus是一款高準(zhǔn)確性善謀新篇、高靈敏度增產、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機型。

UNISEL.png

主要特點

* 50kHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)方法,測量光路中無運動部件

* 具備超薄膜所需的測量精度行動力,超厚膜所需的高光譜分辨率

* 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式,可用于在線實時監(jiān)測

* 自動平臺樣品掃描成像切實把製度、變溫臺保供、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池進行部署、密封池等多種附件

* 配置靈活


規(guī)格參數(shù)

調(diào)制方式相位調(diào)制+斬波器 雙調(diào)制
調(diào)制頻率50kHz
光譜范圍

190-920nm(可擴展到2100nm)

* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

光譜分辨率<>
雜散光抑制率<>
色散公式≥ 31個
材料模型庫≥ 300個
微光斑類型反射式振奮起來,全光譜消色差
微光斑可選50μm品質,100μm,1mm(90度)
探測器分別針對紫外深入各系統,可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
樣品臺手動/自動解決問題,支持12英寸晶圓(可選)
自動量角器變角范圍35° - 90°,全自動調(diào)整作用,最小步長0.01°



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