CIS 系列封閉式離子源分析儀

憑借優(yōu)于 1 ppm 的檢測限創新科技、在 mTorr 壓力下直接采樣以及用戶友好的 Windows 軟件包，CIS 系統(tǒng)將滿足您的應用不負眾望。在線過程監(jiān)測和控制高效流通、在使用點驗證過程氣體純度、高真空殘余氣體分析和過程設備泄漏檢查是這些系統(tǒng)的一些領域精準調控。

緊湊型設計

鍍金離子發(fā)生器

該探頭由一個四極質譜儀和一個安裝在 2.75" Conflat ®  Tee 內的 CIS 離子發(fā)生器組成功能。控制單元直接安裝在探頭的饋通法蘭上體系，并包含操作儀器所需的所有電子設備生產製造。CIS 接頭的側端口提供用于將四極桿、燈絲和檢測器保持在高真空狀態(tài)的差動泵系統(tǒng)連接攜手共進。該系統(tǒng)可以通過其標準 CIS 安裝法蘭 (2.75" CF) 直接連接到處理室共同。該裝置是自對準的，具有簡單經過、堅固的設計簡單化。您可以清潔和重新組裝探頭，并在現(xiàn)場更換燈絲和電子倍增器明確了方向，而無需致電工廠系統性。

鍍金離子發(fā)生器

整個離子發(fā)生器由鍍金不銹鋼制成。這減少了電離區(qū)域中的除氣和背景信號單產提升，提高了長期穩(wěn)定性傳遞，并允許在暴露于反應性和腐蝕性氣體時進行操作。使用鎢絲勞動精神，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蝕性和反應性氣體開展攻關合作，并延長使用壽命。電離器的封閉（氣密）設計可防止常見的干擾物質回流到電離體積中預下達。這會產生沒有光譜重疊的峰的有效手段。

探測器的選擇

CIS 系列分析儀標配法拉第杯檢測器（10 ppm 檢測）和連續(xù)打拿極電子倍增器（1 ppm 檢測）。該軟件允許您在檢測器之間輕松切換。

電子倍增器

多功能性

CIS 系統(tǒng)也可以用于所謂的“RGA 模式”關鍵技術。在這種模式下保護好，裝置具有較低的最小可檢測分壓，但也具有較低的工作壓力表現。例如，RGA 模式用于濺射工藝的階段深刻變革，此時腔室被抽空至低壓結論，并檢查真空質量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以將裝置切換到 CIS 模式質生產力，以便在較高壓力下直接采樣適應性強。

可編程性

提供標準 RS-232 接口以及完整的編程參考。可以控制和監(jiān)控所有探頭參數(shù)先進的解決方案，并且可以獲取數(shù)據(jù)以用于自定義應用程序拓展。

視窗軟件

模擬模式

CIS 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量信息。該程序是交互式的相關，使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作豐富內涵，刻度可設置為線性或對數(shù)格式生產效率，數(shù)據(jù)可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù)適應性，或按給定時間間隔計劃采集數(shù)據(jù)節點，以進行長期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（ppm落地生根、Torr的特點、mbar、Pa 和 A）有效保障、可編程的音頻和視頻警報以及全面的在線幫助大數據。該軟件允許通過簡單的質量標度調整、靈敏度校準相結合、離子發(fā)生器設置和電子倍增器增益調整實現(xiàn)完整的 CIS 磁頭控制高效化。為了進一步分析，數(shù)據(jù)文件可以以 ASCII 格式保存為產業發展，以便于傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以導入其他 Windows 程序範圍和領域。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護，使臨時用戶無法更改重要設置各項要求。

可選的獨立監(jiān)視器 ( PPM100 ) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA更高要求。

壓力與時間

多頭操作

當需要多個 CIS 時，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個 ECU共同學習。

泵送要求

CIS 儀器需要連接到有效抽速至少為 40 L/s 且基礎壓力低于10 -9  Torr的抽吸系統(tǒng)順滑地配合。連接端口是一個 2.75" Conflat ® 法蘭。選項 O100TDP 提供一個渦輪泵效高，它與隔膜低真空泵一起直接安裝到 CIS 頭上前沿技術。訂購此選項時，整個分析儀都在工廠組裝性能、測試和校準多種方式。用戶可以提供自己的泵站；但是實力增強，用戶有責任確保泵系統(tǒng)不會損壞或限制儀器的性能體系流動性。

經濟實惠的性能

圖書館模式

SRS CIS 系統(tǒng)以競爭模型的一小部分成本提供的性能。標準系統(tǒng)包括法拉第杯探測器帶來全新智能、電子倍增器探測器和 Windows 軟件實現了超越。選項包括用于交流線路操作的內置電源模塊，以及包括渦輪分子泵和隔膜泵的泵送套件去完善。

獨聯(lián)體尺寸圖

獨聯(lián)體參數(shù)	范圍	獨聯(lián)體模式	RGA模式
電子發(fā)射電流 (mA)	0到1	0.05	0.5
電子能量 (eV)	25 至 105	70 或 35	70
離子能量 (eV)	4 或 8	4 或 8	4 或 8
提取電壓 (V)	0 到 -150	-50（典型值）	-50（典型值）
靈敏度 (A/Torr) （對于 N 2 @28 amu）		10 -6	10 -5
線性范圍上限 (Torr)		2×10 -3	10 -4
MDPP (托)		10 -8	10 -9

筆記

1. CIS 測試使用 70 L/s 混合渦輪分子泵進行橋梁作用，由隔膜泵支持，連接到 CIS Cover Tee 的側端口求索。2. 報告的 RGA 模式靈敏度是針對低于 10 -5  Torr的 N 2
計算得出的拓展應用。 3. CIS 模式靈敏度是針對 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下計算的。4. MDPP（最小可檢測分壓）通過在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情況下測量法拉第杯檢測的基線水平來確定

 托（CIS 模式）結構。當電子倍增器打開時管理，可檢測性可提高多達 3 個數(shù)量級。