UGAPM 系列過程監(jiān)測系統(tǒng)是為分析過程氣體而設(shè)計(jì)的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速（約5x10 -5  mbar L/sec）連續(xù)采樣氣體完成的事情，使儀器成為在線分析的理想選擇物聯與互聯。

UGAPM 應(yīng)用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻改造層面、蒸發(fā)供給、濺射沉積、真空熱處理經驗分享、靶材老化解決方案、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究有力扭轉、小體積分析（0.1 mL范圍）等作用。

這些分析儀也易于操作和維護(hù)。所有組件都可以從前面板或遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制慢體驗。在 UGAPM 系統(tǒng)中著力增加，使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛細(xì)管來適應(yīng)中真空采樣。使用這種配置科技實力，處理室和分析儀之間的死體積幾乎為零處理。

工作原理

UGAPM 系統(tǒng)使用單級毛細(xì)管減壓入口，用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣在此基礎上。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后助力各業，氣流被送到質(zhì)譜儀（殘余氣體分析儀——RGA），該質(zhì)譜儀測量每個(gè)目標(biāo)質(zhì)量的濃度提供有力支撐。

UGAPM Windows 軟件為復(fù)雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個(gè)圖形用戶界面應用。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵品率。

多毛細(xì)管入口

可選的多入口閥具有兩種可能的配置相貫通。一種是多通道配置，可適用于不同位置的一種特定樣品壓力積極影響。另一種是多量程配置自動化方案，可適用于不同量程的樣品壓力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系統(tǒng)可以通過前面板或計(jì)算機(jī)進(jìn)行控制越來越重要。提供所有系統(tǒng)組件的手動(dòng)或自動(dòng)控制選擇線上線下。

使用 UGAPM 軟件測量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測量醒悟。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)數據顯示，或計(jì)劃在時(shí)間采集數(shù)據(jù)。

功能包括模擬和直方圖掃描模式也逐步提升、壓力與時(shí)間圖記得牢、泄漏檢測註入了新的力量、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數(shù)也可以通過高級 ASCII 命令等進(jìn)行控制和監(jiān)視更多可能性。標(biāo)準(zhǔn) RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數(shù)據(jù)鏈路去創新。

最

UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統(tǒng)的價(jià)值。它們提供更高的性能緊迫性、更好的功能結構，并且價(jià)格遠(yuǎn)低于競爭對手。