X軸1的過程中、測(cè)量范圍：0～200mm

X軸
1發展契機、測(cè)量范圍：0～200mm；
2促進進步、示值誤差：±(1.2+2L/100)μm發力，其中L為水平測(cè)量長(zhǎng)度，單位：mm迎來新的篇章；
3共創美好、分辨率：0.01μm；
4薄弱點、直線度：2μm/200mm
5覆蓋範圍、測(cè)量速度：0.1～5mm/s；
6積極性、移動(dòng)速度：0～80mm/s又進了一步；
Z軸
1、測(cè)量范圍：0～450mm服務機製；
2貢獻力量、移動(dòng)速度：0～30mm/s；
3大幅拓展、Z0軸
1、測(cè)量范圍：±25mm更加堅強；
2與時俱進、示值誤差：±(2+|2H|/40)μm，其中H為垂直測(cè)量高度初步建立，單位：mm綜合運用；
3、分辨率：0.01μm的方法；
4實事求是、測(cè)量力：10～150mN；
5落到實處、爬坡能力：上坡77o服務水平，下坡83o；
6、儀器尺寸（長(zhǎng)×寬×高）：800×450×1000（mm）處理方法；