Ø 測量原理
本儀器測量原理為直角坐標(biāo)測量法，即通過X軸積極、Z1軸傳感器探索，測繪出被測零件的表面輪廓的坐標(biāo)點(diǎn)，通過電器組件產業，將傳感器所測量的坐標(biāo)點(diǎn)數(shù)據(jù)傳輸?shù)缴衔?/span>PC機(jī)滿意度，軟件對所采集的原始坐標(biāo)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)運(yùn)算處理，標(biāo)注所需的工程測量項(xiàng)目可持續。
Ø 測量功能
輪廓測量功能
尺寸：包含水平距離主要抓手、垂直距離、線性距離構建、半徑很重要、直徑
夾角：包含水平角、垂直角大型、夾角
位置公差：包含平行度服務效率、垂直度
形狀公差：包含直線度明確相關要求、凸度、圓弧輪廓度
輔助生成：包含輔助點(diǎn)統籌發展、輔助線深化涉外、輔助圓
粗糙度測量功能
粗糙度功能：Ra、Rp生產製造、Rv開展試點、Rz、Rz（jis）共同、R3z推進一步、RzDIN、Rzj簡單化、Rmax力度、Rc、Rt系統性、Rq勇探新路、Rsk、Rku傳遞、Rsm試驗、Rs、R△q開展攻關合作、Rk製度保障、Rpk、Rvk的有效手段、Mr1統籌推進、Mr2、Rmr
波紋度參數(shù)：Wa關鍵技術、Wt保護好、Wp、Wv表現、Wz特點、Wq、Wsm可能性更大、Wsk部署安排、Wku、Wmr
原始輪廓參數(shù)：Pa技術、Pt推廣開來、Pp、Pv相對較高、Pz資源配置、Pq信息、Psm、Psk大力發展、Pku豐富內涵、Pmr
Ø 測量范圍
| 項(xiàng)目 | 測量范圍 | 分辨率 |
| 驅(qū)動器 | 100mm | 0.2μm |
| 輪廓傳感器 | 25mm | 0.05μm |
| 粗糙度傳感器 | ±420μm | 65536:1 |
| 立柱 | 320mm | - |
Ø
技術(shù)規(guī)格
| 輪廓儀部分技術(shù)參數(shù) | 線性精度1 | ±（1.5+|0.2H|）μm |
| 圓弧2 | ±（2+R/8）μm |
| 角度3 | ±2′ |
| 直線度4 | 0.8μm/100mm |
| 粗糙度部分技術(shù)參數(shù) | 線性精度 | ±(7nm+3.5%) |
| 殘值噪聲 | ≤0.025μm |
| 重復(fù)性 | 1δ≤2nm |
| 截止波長 | 0.025、0.08產能提升、0.25適應性、0.8、2.5通過活化、8mm |
| 評定長度 | λcX2落地生根、3、4健康發展、5有效保障、6、7 |
| 運(yùn)動控制 | X軸驅(qū)動方式 | 電動 |
| Z軸驅(qū)動方式 | 電動 |
| X軸驅(qū)動速度 | 0.1~10mm/s |
| Z軸驅(qū)動速度 | 0.5-10mm/s |
注：1長效機製、H為水平位置上的測量高度相結合；2、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球製高點項目，取樣圓弧夾角為120°；3範圍和領域、60°有所增加、90°的角度塊，角邊取樣長度為5mm更高要求；4越來越重要的位置、λc為2.5mm，測量速度為≤0.3mm/s共同學習；5順滑地配合、2mm＜R＜10mm的標(biāo)準(zhǔn)球，取樣圓弧夾角為120°6問題、以上參數(shù)均在20℃±5℃逐漸顯現，階梯溫度不超過2℃/h的環(huán)境下測得；7系統穩定性、地面震動RMS
＜50HZ 2.5μm/s /＞50HZ 5.0μm/s拓展基地。
