DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺式設計引領,可實現 4? (0.4nm) 的的重復性自動化裝置,掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和地位的應用前景。DektakXT 結合了一的技術和設計有很大提升空間,可提供的性能、易用性以及價值首次,實現從研發(fā)到質量控制的更好過程監(jiān)控可能性更大。DektakXT 的技術突破為微電子、半導體搖籃、太陽能技術、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學行業(yè)的關鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。
布魯克bruker輪廓儀 利用的直接驅動掃描樣品臺相對較高,將測量時間加快 40%堅持好,同時保持行業(yè)的性能。Vision64 是布魯克的 64 位并行處理操作和分析軟件大幅增加,能夠更快地加載 3D 形貌文件特性,并更快地應用篩選器和多區(qū)域數據庫分析。
單拱門結構設計使 布魯克bruker輪廓儀 更堅固等特點,從而將環(huán)境噪音的影響降至低建言直達。DektakXT 升級的"智能電子設備"可降低溫度變化的影響,并采用現代處理器將進一步,大限度地減少噪聲水平支撐作用,使其成為能夠測量<10nm 臺階高度的更強大的系統(tǒng)。
布魯克的 Vision64 軟件通過提供直觀動力、簡化的用戶可視化界面同時,加入到 DektakXT 的創(chuàng)新設計。智能架構和可自定義自動化功能相結合效高性,可實現快速模式、全面的數據收集和分析。無論您是使用分析腳本對單個掃描結果進行分析提升,還是應用自定義篩選器設置和計算高品質,DektakXT 的數據分析器都能顯示當前分析結果,同時顯示其他可能的分析工具支撐能力。
DektakXT 的自對齊探針組件允許用戶快速輕松地更換不同探針資源優勢,同時消除換針中的任何潛在風險。布魯克提供廣泛的探針尺寸和形狀特征更加明顯,幾乎滿足任何應用需求估算。
DektakXT 能夠快速輕松地設置和運行自動化的多樣品測量模式,以可重復性驗證整個晶圓表面薄膜的精確厚度的可能性。這種有效的監(jiān)控可以通過提高測試通量來節(jié)省寶貴的時間和金錢不要畏懼。
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