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進口四探針電阻率測試儀(4PP)/方塊電阻測試儀 280SI

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美國Four Dimensions,Inc, 簡稱“4D”共同,成立于1978年推進一步,位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專注于四探針設備和CV儀的生產(chǎn)和銷售,累計銷量達800臺以上簡單化,遍布世界各大半導體Fab, 太陽能光伏企業(yè)力度,大學及科研機構(gòu)。

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美國Four Dimensions,Inc, 簡稱“4D”系統性,成立于1978年勇探新路,位于美國加州硅谷的Hayward, 4D公司專注于四探針設備和CV儀的生產(chǎn)和銷售,累計銷量達800臺以上傳遞,遍布世界各大半導體Fab, 太陽能光伏企業(yè)試驗,大學及科研機構(gòu)。

美國4D公司的四探針/方塊電阻/電阻率測試設備:280SI (4D品牌中最普及的型號)

  • 測量尺寸:晶圓尺寸:2-8寸(333系列可測量大至12寸晶圓開展攻關合作,1100系列可測量大至2160mmX2400mm平板系列)

方形片:大至156mm X 156mm製度保障;

  • 測量范圍: 0.001歐姆/平方 至 800000歐姆/平方(標準型);

可往下擴展至:0.0001歐姆/平方的有效手段,往上擴展至8e9或8e11歐姆/平方統籌推進。相對應的電阻率,薄膜厚度根據(jù)不同材料不同應用而不同關鍵技術,但都是以方塊電阻作為基礎設備自動計算得出了解情況,注意這是選項價格要高不少,建議客戶按實際需求選擇購買技術研究。

  • 測量方式: 電腦程序自動測量重要的,或不連電腦單測量主機也可實現(xiàn)測量和數(shù)據(jù)顯示,此時非常適合測試不規(guī)整樣片單點測量結論,適合實際研究需要和諧共生。

  • 測量的數(shù)據(jù): 方塊電阻/電阻率/薄膜厚度,根據(jù)具體應用可以設置不同測量程序適應性強。

  • 測量的點數(shù): 程序編排任意測量點位置及測量點數(shù)量技術交流,對應不同客戶不同測量要求任意編程測量點位置與數(shù)量。

  • 測量的精確度:<0.1% (標準模阻)相對較高;

  • 測量重復性:<0.2% (特定片子)資源配置;

  • 測量速度:>45點/分鐘;

  • 測量數(shù)據(jù)處理:根據(jù)需要顯示2D,3D數(shù)值圖相關,或按要求統(tǒng)計并輸出Excel格式文件大力發展;

  • 邊緣修正:具有邊緣修正功能,即片子邊緣3mm以內(nèi)區(qū)域都能測量生產效率;

  • 探針材料:鎢鋼與硅片的接觸電阻最小產能提升,且耐磨適應性。另外每跟針的軸套采用非常耐磨藍寶石材料,以確保長時間使用后間距的一致性通過活化;

  • 探針壓力可調(diào)范圍:90-200克之間可調(diào)落地生根;

  • 可供選擇的探頭類型:根據(jù)測試不同工藝要求有A, B,K, M, N等相關(guān)型號探頭選擇,另外還可提供專門為客戶定制的應用特殊要求的探針健康發展,比如測試薄至30A的薄膜時需要使用MR型探頭有效保障,這是四探針設備供應商少有能做到的。

  • 設備應用

IC FAB/FP dispaly/LED:擴散長效機製,離子注入等摻雜工藝監(jiān)控調(diào)試講實踐,薄膜電阻率或厚度測量等工序,如Intel奮戰不懈,IBM市場開拓,Motorola,TSMC大大縮短,CSMC,Applied Materials,Sematech,Linear Technology,Tokyo Electronics,Materials Research,RF Monolithics,Linear Technology,Perkin-Elmer Optoelectronics,Candescent Technology,Hewlett-Packard,SHE America/Japan/Europe,Flip Chip,Delco Electronics,Lite-On Power,Goldstar,Korea Electronics,Posco Huls,SGS-Thomson,CarborundumCodeon,TRW Space&Electronics,Dynamic Research,EKC Technology,Hughes Aircraft,International Rectifier,LG Display,Semitech,Winbond,RF Monolithic,Osram...

材料類研究:杜邦(中國)各項要求,電力,中科院越來越重要的位置,山東新技術,清華大學,北京大學順滑地配合,復旦大學深入,華師大,電子科大前沿技術,國家標準化所基礎,質(zhì)檢所,光伏科學與技術(shù)國家重點實驗室,Applied Materials, Materials Research...
    新能源:尚德拓展基地,晶澳集中展示,英利,阿特斯體系流動性,天合探索創新,LDK,海潤實現了超越,騰暉新產品,鑫輝,東磁橋梁作用,向日葵長遠所需,奧特斯維,尖山讓人糾結,晶科規模,力諾穩定發展,韓華,神舟聯動,光為能力建設,艾力克,吉陽生產體系,東營,中盛很重要,F(xiàn)irst solar,Solar world...
             

  • 客戶群廣:國內(nèi)已經(jīng)賣出近300臺之多能力和水平,累計各種型號四探針設備近千臺,四探針設備的優(yōu)質(zhì)品牌異常狀況。


  • 使用成本

4D公司所提供的探針質(zhì)保次數(shù)是25萬次研究,而實際從客戶反饋的信息是壽命達到100萬次以上,甚至150萬次以上應用創新。同時4D還為客戶提供探頭的探針更換服務提高,大大降低客戶的使用成本。



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