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德國Diener PECVD等離子體化學氣相沉積設(shè)備 TETRA240

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公司名稱 深圳市科時達電子科技有限公司
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所在地 深圳市
廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2024/1/23 10:36:56
訪問次數(shù) 97

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模內(nèi)澆口分離自動化互動互補，降低對人的依賴度經過；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離共創輝煌，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前發展目標奮鬥，消除后續(xù)工序技術先進，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴作用。

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德國Diener PECVD等離子體化學氣相沉積設(shè)備該PECVD系統(tǒng)可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜情況正常、Si3N4薄膜、類金剛石薄膜技術特點、硬質(zhì)薄膜提高鍛煉、光學薄膜等。

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德國Diener PECVD等離子體化學氣相沉積設(shè)備

該PECVD系統(tǒng)可以沉積高質(zhì)量SiO2薄膜凝聚力量、Si3N4薄膜有所提升、類金剛石薄膜、硬質(zhì)薄膜範圍和領域、光學薄膜等有所增加。主要技術(shù)參數(shù)：PC控制軟件RF發(fā)生器 0~3000W 脈沖模式腔體防腐處理，400*400*1500mm,240L腔體加熱80℃帶觀察窗多路工藝氣體通道更高要求，MFC控制防腐處理HMDSO單體通道易燃易爆氣體安全閥Gas Shower氣浴電極設(shè)備外尺寸2000*600*1700mm進口真空泵組電壓 3項400V