SJ6000高速超精密激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器重要的，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)開展研究，達到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。儀器具有測量精度高相互融合、量程大首要任務、速度快、靈敏度高不同需求、抗擾力強等優(yōu)點發展。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長總之、角度面向、直線度、垂直度研學體驗、平行度效率、平面度等幾何參量的高精度測量。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件近年來，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件講道理。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組技術先進、角度鏡組落地生根、直線度鏡組、垂直度鏡組健康發展、平面度鏡組有效保障、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標(biāo)配講實踐，由線性干涉鏡數字技術、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成∈袌鲩_拓？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度措施、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析要落實好，以及反向間隙修正和螺距補償緊密相關。
線性測量應(yīng)用
SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機床、三坐標(biāo)先進技術、機器人培訓、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備宣講手段、線性位移平臺重要工具、精密機械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量配套設備。
部分技術(shù)指標(biāo)
主機
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃更優質，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標(biāo)準配置重量：18kg
功能廣
（1）可實現(xiàn)線性對外開放、角度、直線度深入交流研討、垂直度資料、平行度、平面度關註度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量橫向協同；
（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度敢於挑戰、重復(fù)定位精度等不斷創新，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角提供了遵循、直線度規模、垂直度等；
（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準基石之一；
（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表聯動，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
（5）具有動態(tài)測量與分析功能共同努力，包括位移分析行業內卷、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等參與能力，可進行振動分析合理需求、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等充分發揮；
（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償高質量。
SJ6000高速超精密激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義提高。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)機構，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強交流、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出基礎；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償還不大；干涉鏡與主機分離設(shè)計高產，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠發揮作用。
