德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
EddyCus®TF映射2525個(gè) 系列高達(dá)樣本自動(dòng)圖像特征非常激烈，以非接觸模式250×250平方毫米(10×10英寸)。
在手動(dòng)樣品定位時(shí)引人註目，設(shè)備會(huì)自動(dòng)測(cè)量并顯示整個(gè)樣品區(qū)域的特性分布領域。
測(cè)量設(shè)置允許輕松靈活地在低于 1 分鐘的快速測(cè)量時(shí)間或每個(gè)樣本超過 50,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn)的高空間測(cè)量分辨率之間進(jìn)行選擇。
由此產(chǎn)生的映射提供了對(duì)透明和非透明層或晶片和金屬板的均勻性和質(zhì)量的真實(shí)洞察。
臺(tái)式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對(duì)薄層電阻註入新的動力、金屬厚度或光學(xué)透明度進(jìn)行準(zhǔn)確成像領先水平。
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測(cè)量?jī)x可選型號(hào)：
該設(shè)備平臺(tái)可用于不同的傳感器配置，包括用于電氣表征的渦流傳感器或用于光學(xué)表征的傳感器雙重提升。測(cè)量配置的變體涉及以下選項(xiàng)戰略布局。
. 薄層電阻成像 – TF 圖 2525SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
. 金屬厚度成像 - TF map 2525MT [nm, µm, mm, mil]
. 電阻率和電導(dǎo)率成像 – TF 圖 2525RM [mOhm*cm, MS/m]
. 電各向異性成像 – TF 圖 2525a [MD/TD]
. 濕涂層厚度和殘留水分成像 - TF map 2525HF
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)：
技術(shù)：非接觸渦流
通過多點(diǎn)映射成像
薄層均勻度控制
質(zhì)量控制、輸入和輸出控制
定位區(qū)域：300 mm x 270 mm
取樣面積：250 x 250 mm(可擴(kuò)展至280 x 280 mm)
推薦的樣品尺寸：1 英寸至 10 英寸或 25 至 250 毫米
測(cè)量：
薄層電阻：0.001 到 100 Ohm/sq(Ohm per square, Ohm/sq, OPS)
金屬層厚度：1 nm 至 2 mm(nm表現明顯更佳、µm狀態、mm、mil)
各向異性：0.33 至 3 (MT/TD)
電阻率/電導(dǎo)率：(mOhm*cm, MS/m, %IACS)
非接觸
快速準(zhǔn)確的測(cè)量
導(dǎo)電薄膜的高分辨率映射
對(duì)zui大 250 x 250 毫米(10 x 10 英寸)的基板進(jìn)行成像
缺陷檢測(cè)和涂層分析
甚至隱藏和封裝的導(dǎo)電層的表征
各種軟件集成分析功能(例如薄層電阻分布指導、線掃描廣泛認同、單點(diǎn)分析)
測(cè)量數(shù)據(jù)保存和導(dǎo)出功能;
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 2525系列薄層電阻測(cè)量?jī)x軟件和設(shè)備控制：
. 輕松設(shè)置測(cè)量
. 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)收集和分析
. 掃描和自動(dòng)點(diǎn)測(cè)量模式，包括增持能力。測(cè)量近邊緣
. 眾多軟件集成分析功能(直方圖分析共同努力、標(biāo)準(zhǔn)偏差行業內卷、線條輪廓追求卓越、面積分析等)
. 用于系統(tǒng)文檔的用戶友好 PDF 報(bào)告(示例報(bào)告)
. 數(shù)據(jù)導(dǎo)出(如txt)
. 加載和重新分析數(shù)據(jù)集;
