德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
EddyCus®TF地圖5050系列是高分辨率非接觸式成像設(shè)備系列使命責任，用于zui大 500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)的采樣區(qū)域效果。
臺(tái)式設(shè)備可在各個(gè)測(cè)量點(diǎn)自動(dòng)測(cè)量，通常 X 和 Y 方向的間距為 1 毫米(40 密耳)合規意識，以生成準(zhǔn)確的映射密度增加。
該系統(tǒng)每秒可動(dòng)態(tài)獲取數(shù)百個(gè)測(cè)量值，從而生成每個(gè)樣本包含多達(dá) 250,000 個(gè)測(cè)量點(diǎn)的高分辨率圖像創新內容。
臺(tái)式設(shè)備允許根據(jù)其設(shè)置對(duì)金屬厚度機遇與挑戰、薄層電阻或電各向異性進(jìn)行準(zhǔn)確成像。
由此產(chǎn)生的特性圖像提供了對(duì)層均勻性和缺陷密度的深刻洞察善於監督，因此為材料和工藝優(yōu)化提供了深刻的基礎(chǔ)集成技術。應(yīng)用涉及濺射、蒸發(fā)更合理、ALD適應能力、CVD。
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測(cè)量?jī)x類型：
設(shè)備提供不同的傳感器配置，使用光學(xué)元件的渦流傳感器防控。
. 薄層電阻成像 – EddyCus® TF map 5050SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]
. 金屬厚度成像 – EddyCus® TF map 5050MT [nm, µm, mm, mil]
. 電阻率和電導(dǎo)率成像 – EddyCus® TF 圖 5050RM [mOhm cm, MS/m]
. 電(非)各向同性成像 – EddyCus® TF map 5050A
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)：
. 非接觸式成像
. 快速準(zhǔn)確
. 具有 1 毫米間距(或者 0.25 至 10 毫米)的高分辨率成像
. 采樣區(qū)域?yàn)?500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)
. *的層均勻性分析和缺陷檢查
. 隱藏和封裝導(dǎo)電層的表征
. 強(qiáng)大的軟件集成分析功能(線條輪廓成效與經驗、直方圖分析、選擇區(qū)域分析堅實基礎、統(tǒng)計(jì))
. 混合系統(tǒng)(例如組合電子和光學(xué)成像)
. 系統(tǒng)的質(zhì)量控制稍有不慎，進(jìn)貨檢驗(yàn)，出貨檢驗(yàn)
. 技術(shù)：非接觸式渦流傳感器
. 取樣面積：500 x 500 mm
. 推薦的樣品尺寸：1 到 20 英寸/25 毫米到 500 毫米
. 測(cè)量：
薄層電阻范圍：0.1 mOhm/sq 到 10,000 Ohm/sq
金屬層厚度：1 nm 至 2 mm(其他應(yīng)要求提供)
電各向異性：0.3 – 3
. 流程評(píng)估
沉積(濺射貢獻、蒸發(fā)規模最大、ALD、CVD統籌、電鍍最深厚的底氣、印刷、鑄造等)
摻雜和退火
燒蝕(蝕刻振奮起來、拋光品質、激光、EDM 等)
德國(guó)SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測(cè)量?jī)x軟件和設(shè)備控制：
. 易于使用的設(shè)置
掃描尺寸選擇
測(cè)量間距選擇
開始測(cè)量
. 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)聚合
. 接近邊緣的測(cè)量
自動(dòng)掃描或手動(dòng)測(cè)量
. 易于使用的統(tǒng)計(jì)分析選項(xiàng)
選擇性圖像分析
線型分析
直方圖分析
統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)(zui小值深入各系統、zui大值解決問題、平均值、方差)
. 出口
使用不同的配色方案導(dǎo)出圖像
PDF 報(bào)告(示例報(bào)告)
數(shù)據(jù)導(dǎo)出為txt以導(dǎo)入excel或origin
. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)作用、數(shù)據(jù)加載和重新分析;
