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SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:SKCC-YCB-X高真空磁控濺射永磁靶頭適用靶材種類較廣,如金屬/絕緣靶或磁性/非磁性靶材新模式。配裝有環(huán)形永磁體在頭上實現,以保證濺射鍍膜的效率和均勻性〗M織了?膳cDC或RF電源配合使用服務體系。

 

產(chǎn)品型號(hào)

SKCC-YCB-X(高真空磁控濺射永磁靶頭)

產(chǎn)品規(guī)格

2寸,SKCC-YCB-2

3寸紮實,SKCC-YCB-3

4寸效高化,SKCC-YCB-4

5寸,SKCC-YCB-5

6寸投入力度,SKCC-YCB-6

7寸創造,SKCC-YCB-7

主要特點(diǎn)

1、采用高質(zhì)量的不銹鋼和永磁材料制作貢獻法治。

2設備製造、采用電磁場(chǎng)的有元計(jì)算法來(lái)設(shè)計(jì)永磁體,以得到較高的磁場(chǎng)強(qiáng)度和均勻分布攻堅克難。

3信息化、的磁性材料冷卻裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)避免冷卻水腐蝕磁性材料生動,延長(zhǎng)其使用壽命新型儲能。

4、標(biāo)準(zhǔn)的HN型接頭新品技,可與DCRF電源相匹配範圍。

5、安裝采用標(biāo)準(zhǔn)真空接頭紮實做,便于操作空間廣闊。

6、靶材更換較為簡(jiǎn)單提供深度撮合服務,無(wú)需調(diào)整濺射頭的高度服務品質。

配套電源

1、直流DC組成部分;2影響、射頻RF

備注

如需要折靶則:

2寸折靶新的動力,SKCC-YCB-2-Z

3寸折靶,SKCC-YCB-3-Z

4寸折靶發展契機,SKCC-YCB-4-Z


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