當前位置：儀器網 > 產品中心 > 行業(yè)專用儀器>其它行業(yè)專用儀器>其它> VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀
返回產品中心>
產品簡介：VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型）逐步改善，控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″提升，放置樣品的直徑為Ø50mm大大提高，加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金研究成果、銀取得了一定進展、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳首次。本機采用旋轉式樣品臺可能性更大，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復膜的樣品搖籃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制技術，操作方便直觀。該機設備小巧推動，占用實驗室空間少相對較高，操作簡單，應用廣泛信息。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中相關。
| 產品型號 | VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀 |
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃傳承，濕度55%Rh±10%Rh下使用等特點。 1、水：不需要 2多種、電：AC220V 50Hz將進一步，必須有良好接地 3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上）清洗發展成就，需自備氬氣氣瓶 4成就、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5開展面對面、通風裝置：需要 |
| 主要特點 | 1系統、PLC控制面板非常重要，4.3″觸摸屏，PID控溫方式空間廣闊。 2營造一處、可控參數包括真空度、電流支撐能力、靶材位置資源優勢、基片加熱溫度。 3特征更加明顯、可與真空泵估算、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。 4的可能性、已通過CE認證不要畏懼。 |
| 技術參數 | 1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2問題、輸出功率：1600VDC 50mA（電流） 3逐漸顯現、石英罩：Ø160mm×120mm 4、樣品臺：Ø50mm（可選購加熱型樣品臺系統穩定性，溫度可到500℃拓展基地；最長濺射時間不可超過5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 6實力增強、進氣口：裝有精密可調針閥體系流動性，以實現方便的調節(jié)進氣量 7、靶材：尺寸直徑Ø47mm帶來全新智能，厚度0.1mm-3mm實現了超越；可濺射Au、Ag新型儲能、Pt創新能力、Cr、Ni範圍，不可濺射氧化物求得平衡、半導體、一些輕 金屬空間廣闊、Al至關重要、Zn、C等 |
| 產品規(guī)格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm雙重提升；重量：50kg |
| 可選配件 | 1戰略布局、KF25真空接口事關全面、卡箍 2表現明顯更佳、不銹鋼波紋管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、鉑指導、銀廣泛認同、鋅等各種高純度金屬靶材 5、加熱型樣品臺 |
|
|
|
|
|
|
*您想獲取產品的資料：
個人信息：
