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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一緊湊型等離子濺射儀,可進行金應用優勢、鉑高質量發展、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜高效節能,樣品直徑可達50mm鍍膜厚度可達300Å大局,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜培訓。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示宣講手段、監(jiān)控儀器狀態(tài)重要工具;  特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈,可保證長期使用不會出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象配套設備;陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用更優質。GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀體積小,操作簡單推進高水平,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用脫穎而出。

產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃生產創效,濕度55%Rh±10%Rh下使用結構。

1、水:不需要

2集成、電:AC220V 50Hz相結合,必須有良好接地

3良好、氣:設備腔室內(nèi)需注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)

4服務、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5能力和水平、通風裝置:不需要

主要特點

1覆蓋、設有真空表濺射電流表明確相關要求,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)重要意義。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器深化涉外、微型真空氣閥體系,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,獲得鍍膜效果攜手共進。

3共同、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象經過。

4簡單化、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用

5管理、根據(jù)電場中氣體電離特性設計,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈改進措施。

6就此掀開、已通過CE認證

技術參數(shù)

1今年、電源:220V

2穩步前行、總功率<2000W包括真空泵

3真空室Ø160mm×120mm

4動手能力、樣品臺Ø50mm逐步改善,且高度可調(diào),可同時進行8SEM樣品的鍍膜

5提升、max均勻鍍膜Ø45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:400mm×300mm×400mm大大提高;重量:30kg

標準配件

1

金靶材

1

2

進氣針閥

1

3

保險絲

2

可選配件

金、銦應用前景、銀有很大提升空間、鉑等各種靶材


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