產(chǎn)品型號(hào)

PCE-22紫外臭氧清洗機(jī)

主要特點(diǎn)

1、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);

2高效、溫度范圍：5-40℃;

3溝通協調、相對(duì)濕度80％，30.5℃體系，40℃線性降至50％相對(duì)濕度;

4保障性、主電源波動(dòng)不超過額定電壓的10％;

5、污染等級(jí)2; 臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量<45 ppb開拓創新。

6持續發展、去除分子級(jí)別的污染物

7、紫外光固化粘合劑

8促進善治、紫外光催化

9擴大、氧化PDMS

10多樣性、表面消毒

11、刻蝕

12新格局、清洗MEMS 器件

13明顯、清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

技術(shù)參數(shù)

1顯示、功率：350W

2創新為先、AC 208~240V，單相 50/60Hz

腔體&樣品臺(tái)

1科普活動、不銹鋼殼體

2創新延展、抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣

3長期間、樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm

4基本情況、臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上

5、樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)）

6高端化、樣品臺(tái)可以加熱集成應用，溫度可達(dá)150℃

7、可設(shè)置20段升降溫程序不負眾望，控溫精度為+/-1℃

8高效流通、設(shè)備運(yùn)行時(shí)間：0.01 秒- 99.9小時(shí)

排氣口

1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端

2精準調控、請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接功能，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外

3、儀器中不包含橡膠管

紫外燈

1解決、可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈

2廣泛關註、功率：55W

3、發(fā)出光的波長(zhǎng)：254 nm 和 185 nm

4集成技術、使用壽命：2500 小時(shí)（可更換）

5就能壓製、照射區(qū)域：200 x 200 mm

6、可以清潔直徑為12英寸x 35毫米的晶體晶片適應能力。

產(chǎn)品規(guī)格

1更優美、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

2、重量：28kg