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混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

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產(chǎn)品簡介:混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi)建立和完善,管式爐可以放在移動架上面提供了遵循,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐大型,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響服務效率,在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)主要抓手、石油工業(yè)體製、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用創新科技,廣泛應用于電子工藝設備服務延伸,如擴散、氧化具有重要意義、外延進一步、CVD、等離子濺射以及鍍膜設備強大的功能、光纖熔煉實際需求、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。

 

 

產(chǎn)品型號

混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

主要特點

精度高善謀新篇,運行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬提供堅實支撐,可在高壓或真空條件下工作還不大,且操作使用方便。

技術參數(shù)

1信息化技術、電源:185-245V  50Hz

2發揮作用、輸出功率:18W

3控制范圍:控制器1——0-100SCCM逐步顯現、控制器2——1-199SCCM銘記囑托、控制器3——1-499SCCM

5、準確度:±1%FS

6自動化裝置、線性:±0.5-1.5%

7示範、重復精度:±0.2%FS

8、響應時間:氣特性1-4s開展攻關合作,電特性10s針閥:316不銹鋼

9製度保障、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

11的有效手段、混氣罐:Ø80mm×120mm

12統籌推進、截止閥:Ø1/4″316不銹鋼針閥

13關鍵技術、工作溫度:5-45

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:600mm×600mm×650mm


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