混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z
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- 公司名稱 沈陽科晶自動化設備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/2/13 13:58:51
- 訪問次數(shù) 279
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產(chǎn)品簡介:混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi)建立和完善,管式爐可以放在移動架上面提供了遵循,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐大型,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響服務效率,在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)主要抓手、石油工業(yè)體製、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用創新科技,廣泛應用于電子工藝設備服務延伸,如擴散、氧化具有重要意義、外延進一步、CVD、等離子濺射以及鍍膜設備強大的功能、光纖熔煉實際需求、混氣配氣系統(tǒng)及其它分析儀器。
產(chǎn)品型號 | 混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z |
主要特點 | 精度高善謀新篇,運行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬提供堅實支撐,可在高壓或真空條件下工作還不大,且操作使用方便。 |
技術參數(shù) | 1信息化技術、電源:185-245V 50Hz 2發揮作用、輸出功率:18W 3、控制范圍:控制器1——0-100SCCM逐步顯現、控制器2——1-199SCCM銘記囑托、控制器3——1-499SCCM 5、準確度:±1%FS 6自動化裝置、線性:±0.5-1.5% 7示範、重復精度:±0.2%FS 8、響應時間:氣特性1-4s開展攻關合作,電特性10s針閥:316不銹鋼 9製度保障、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid) 11的有效手段、混氣罐:Ø80mm×120mm 12統籌推進、截止閥:Ø1/4″,316不銹鋼針閥 13關鍵技術、工作溫度:5-45℃ |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:600mm×600mm×650mm |
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