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雙頻激光干涉儀ZLM800 雙頻激光干涉儀

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 寧波市江東歐億檢測儀器有限公司
品牌
型號 雙頻激光干涉儀ZLM800
所在地 寧波市
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2016/1/12 13:00:00
訪問次數(shù) 1465

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促銷詳情

促銷時間：

特價說明：

促銷詳細(xì)：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內(nèi)澆口分離自動化數字化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連基礎上，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離改革創新，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序取得顯著成效，有利于生產(chǎn)自動化新模式，降低對人的依賴。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

真正意義上的雙頻激光干涉儀不容忽視，頻差為640MHz組織了。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好說服力、性能更穩(wěn)定搶抓機遇。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家表示。

詳細(xì)信息在線詢價

產(chǎn)品名稱：

雙頻激光干涉儀ZLM800

型　　號：

ZLM800

價　　格：

品　　牌：

產(chǎn)品介紹：

產(chǎn)品功能
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀全面闡釋，主要用于微位移部件的測量、角度變化量的監(jiān)測競爭力所在、移動平臺運(yùn)動情況的檢測引人註目、光刻機(jī)幾何量的測量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測量等溝通機製，zui多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動好宣講。也可通過位移偏擺俯仰的三角關(guān)系測量檢測物體的振動變化。

性能優(yōu)勢

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀領先水平，頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，*雙頻激光干涉儀精度更好戰略布局、性能更穩(wěn)定事關全面。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家更為一致。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造等形式，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商提供深度撮合服務。

l 激光器壽命更長服務品質，可達(dá)20000小時，激光穩(wěn)頻精度高組成部分，一小時內(nèi)為±0.002ppm影響，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理的過程中，系統(tǒng)精度更高發展契機，可達(dá)±0.4ppm。

l 計算機(jī)輔助光路調(diào)整促進進步，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確發力。

l 采樣頻率更快，zui高達(dá)1MHz迎來新的篇章，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇共創美好。

l 被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器薄弱點，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動速度為1m/s時覆蓋範圍，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。

l 無加速度限制積極性；當(dāng)光線微弱時奮勇向前，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號延時<200ns實施體系；對電磁干擾不敏感組建。

l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇效果較好。

技術(shù)參數(shù)

型號：ZLM800	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm （可選3.2mm）
激光管突發(fā)zui大輸出功率：	1mW （激光等級2）
每束光可測量的軸數(shù)：	zui多6個
線性測量距離：	40m重要的意義，可擴(kuò)展為120m
角度測量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：	20m行程
直線度測量范圍：	± 5mm開放以來，2m或10m行程占，選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程提供了有力支撐， 30m行程需用角度干涉儀
zui大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s的方法，角速度
zui大加速：	無限制
zui高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz實事求是，外部40MHz
預(yù)熱時間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm （角隅反射鏡） ±0.1nm （平面反射鏡）
距離測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
距離測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時（20°±0.5°）真空中時	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
線性度測量分辨率：	0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選
線性度測量精度：（20°±0.5°）使用AUK時（20°±0.5°）真空中時	±0.4ppm （μ/m） ±0.08 （±0.02）ppm （μ/m）
速度測量精度：	±0.5ppm實(shí)測值
角度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
角度測量精度：	±0.1ppm實(shí)測值
平面度測量分辨率：	0.015μrad （3x10^-3弧秒）
平面度測量精度：	±0.2%實(shí)測值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm落到實處，2m行程
直線度測量精度：	±0.5%實(shí)測值服務水平，2m行程 ± 2.5%實(shí)測值，10m行程
垂直度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm處理方法，2m行程
垂直度測量精度：	±0.5%實(shí)測值2m重要作用，± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號 32 Bit （實(shí)時時間） Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn)：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用案例

以下是為*某項目設(shè)計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應(yīng)用案例習慣。在*個案例中充足，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動，實(shí)時測試兩個擺鏡對應(yīng)量（俯仰的積極性、偏擺和位移）的差異情況綠色化發展。在第二個案例中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況不久前，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運(yùn)動情況用上了。

下述案例是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中能力建設，密閉箱留有觀察窗口關註。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X無障礙、Y向的角度變化量開展，以及這兩個目標(biāo)在Z方向的相對變化量。

ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖