SDY-4型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.

SDY-4型四探針測試儀



SDY-4型四探針測試儀是根據(jù)單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)的半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)測試儀器.
儀器以大規(guī)模集成電路為核心部件,采用平面輕觸式開關(guān)控制,及各種工作狀態(tài)LED指示.應(yīng)用微計(jì)算機(jī)技術(shù)有所提升，利用HQ-710E型測量數(shù)據(jù)處理器聽得進，使得測量讀數(shù)更加直觀、快速先進水平，并能實(shí)現(xiàn)晶片厚度自行修正便利性，打印出全部預(yù)置和測量、計(jì)算數(shù)據(jù)反應能力。整套儀器體積小共謀發展、功耗低、測量精度高結構重塑、測試速度快聽得懂、穩(wěn)定性好、易操作高質量發展。
SDY4四探針測試儀 本儀器可滿足半導(dǎo)體材料全方位、器件的研究生產(chǎn)單位對材料(棒材、片材)電阻率及擴(kuò)散層影響力範圍、離子注入層大局、異型外延層和導(dǎo)電薄膜方塊電阻測量的需要。

技術(shù)指標(biāo)
1 測量范圍: 電阻率:0.001-200Ω.cm(可擴(kuò)展);
方塊電阻:0.01-2000Ω/口(可擴(kuò)展);
2 可測晶片直徑(zui大):100mm(配J-2B型手動(dòng)測試臺(tái))
200mm(配J-51型手動(dòng)測試臺(tái))
3 恒流源:電流量程分為0.1邁出了重要的一步、1有序推進、10、100(mA)四檔,各檔電流連續(xù)可調(diào).誤差〈±0.3%
4 數(shù)字電壓表:
量程:0-199.99mV; 分辨率:10μV
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性需求、小數(shù)點(diǎn)堅定不移、超量程自動(dòng)顯示。
輸入阻抗〉1000MΩ; 精度:±0.1%.
5 zui大電阻測量誤差(按JJG508-87進(jìn)行):0.1Ω更讓我明白了、1Ω迎難而上、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字.
6 四探針探頭:
間距:1±0.01mm;針間絕緣電阻≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3%
探針壓力:TZT-9A/9B: 12-16牛頓(總力) TZT-9C/9D 5-8 牛頓(總力)
7 整機(jī)不確定度:(用硅標(biāo)樣片測試)≤5% (0.01-180Ω.cm)
8 外形尺寸:電氣主機(jī):360mm×320mm×100mm探索；數(shù)據(jù)處理器：300mm×210mm×105mm
9 數(shù)據(jù)處理器功能:
A 鍵盤控制測量取數(shù),自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示出平均值.測薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正;
B 鍵盤控制數(shù)據(jù)處理,運(yùn)算電阻率平均值和電阻率值zui大百分變化及平均百分變化;
C 鍵盤控制打印全部測量數(shù)據(jù).測量條件堅持先行、zui大電阻率值、zui小電阻率值滿意度、電阻率zui大百分變化及平均百分變化情況較常見。
10 儀器重量：電氣主機(jī)：約4kg；測試臺(tái)：約10kg主要抓手，數(shù)據(jù)處理器：約2.5kg
11 測試環(huán)境：溫度23±2℃體製；相對濕度≤65％全過程；無高頻干擾；無強(qiáng)光照射探討。
訂購指南

編號(hào) 品名 說明 單價(jià)(元/套)
142122 SDY-4型四探針測試儀 SDY-4型四探針測試儀主機(jī)不負眾望、J-2B型測試臺(tái)、裝配9B或9D探頭 16366.00
142124 SDY-4型四探針測試儀主機(jī)明確相關要求、J-2B型測試臺(tái)重要意義、710-E型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機(jī))、裝配9B或9D探頭 24266.00
142126 SDY-4型四探針測試儀主機(jī)深化涉外、DJ-2型電動(dòng)測試臺(tái)體系、裝配9D探頭 23157.00
142128 TZT-9B型四探針探頭 探針間距1mm針距，針尖材料:碳化鎢;針尖曲率半徑:40±5μm;探針壓力:12至16牛頓(總壓力開展試點，此范圍內(nèi)可調(diào));探針機(jī)械游移率:小于0.3%;探針伸出長度2+0.5mm;針尖錐體夾角60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9B型四探針探頭采用環(huán)氧精澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.同時(shí)使用復(fù)合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好攜手共進、測試數(shù)據(jù)可靠，使用壽命長等特點(diǎn)推進一步。它的所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)經過，同時(shí)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定。TZT-9B型四探針探頭的壓力為：12至16牛頓力度，它適用于測棒狀單晶縱向電阻率和截面電阻率明確了方向，適用于測片狀單晶(其厚度≥1mm)的電阻率.用于測棒、厚片
1468.00
142130 TZT-9D型四探針探頭 探針間距1mm針距勇探新路，針尖材料:碳化鎢鋨合金;針尖曲率半徑:40±5μm;探針壓力:5至8牛頓(總壓力單產提升，此范圍內(nèi)可調(diào));探針機(jī)械游移率:小于0.3%;探針伸出長度2+0.5mm;針尖錐體夾角60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9D型四探針探頭采用環(huán)氧精澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.同時(shí)適用復(fù)合材料作探針,從而提高探針頭的使用壽命.它具有絕緣性能好、測試數(shù)據(jù)可靠試驗，使用壽命長等特點(diǎn)勞動精神。它的所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定製度保障。用于測薄片
1468.00
142132 J-2B型手動(dòng)測試臺(tái)(樣品直徑100mm) 1798.00
142134 DJ-2型電動(dòng)測試臺(tái)(樣品直徑150mm) 8589.00
142136 SDY-4C型二探針測試儀 SDY-4C型二探針測試儀主機(jī)預下達、J-41型二探針測試臺(tái)；710-C型數(shù)據(jù)處理器(含微型打印機(jī))進行部署、裝配9I型探頭 28174.00
142138 TZT-9A型四探針探頭 探針間距:1±0.01mm;探針鋼材:高速鋼;探針壓力:12牛頓至16牛頓(總壓力,可調(diào));探針機(jī)械游移率:小于0.3%;探針伸出長度:2+0.5mm針尖錐體夾角:60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9A型四探針探頭采用環(huán)氧精密澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.它具有絕緣性能好責任、測試數(shù)據(jù)可靠等特點(diǎn)應用情況。其所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)保護好，同時(shí)符合美國A S T M標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定，用于測棒表現、厚片
1096.00
142140 TZT-9C型四探針探頭 探針間距:1±0.01mm;探針鋼材:高速鋼;探針壓力:5牛頓至8牛頓(總壓力,此范圍內(nèi)可調(diào));探針機(jī)械游移率:小于0.3%;探針伸出長度:2+0.5mm針尖錐體夾角:60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9C型四探針探頭采用環(huán)氧精密澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.它具有絕緣性能好特點、測試數(shù)據(jù)可靠等特點(diǎn)。其所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)結論，同時(shí)符合美國A S T M標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定和諧共生，用于測薄片
1096.00
142142 TZT-9G型四探針探頭 探針間距:1,59±0.015mm;探針鋼材:高速鋼;探針壓力:5牛頓至8牛頓(總壓力,此范圍內(nèi)可調(diào));探針機(jī)械游移率:小于0.3%;探針伸出長度:2+0.5mm針尖錐體夾角:60度;針間絕緣電阻:大于109Ω

TZT-9G型仲裁四探針探頭是根據(jù)美國ASMT標(biāo)準(zhǔn)中F84*使用的探針頭而生產(chǎn)的.采用環(huán)氧精密澆注(帶紅寶石軸套),以保證精確的針距.它具有絕緣性能好質生產力、測試數(shù)據(jù)可靠等特點(diǎn)。其所有技術(shù)指標(biāo)符合國家標(biāo)準(zhǔn)推廣開來，同時(shí)符合美國A S T M標(biāo)準(zhǔn)的有關(guān)規(guī)定推動，用于測薄片
1635.00
142144 TZT-9H型二探針頭(4.76mm針距) 1096.00
142146 TZT-9I型二探針頭(10mm針距) 1096.00
142148 J-51型手動(dòng)測試臺(tái)(樣品臺(tái)直徑200mm) 2735.00
142150 J-41型二探針測試臺(tái)(有效長度700mm) 5978.00