MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀

MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀推進一步。

通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內(nèi)簡單化，就可以“動態(tài)”測量出晶圓圖力度。 

優(yōu)勢介紹：一秒一片!可集成在生產(chǎn)線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內(nèi)就能形成單個硅片的二維圖像系統性。

    該儀器本身不使用機械運動部件勇探新路，因此在連續(xù)操作下也非常可靠傳遞。它為每個晶圓片提供完整的拓撲結構試驗，這為提高生產(chǎn)線的成本效益和效率提供了新的途徑，而這些都是迄今為止的開展攻關合作。例如製度保障，在不到3個小時的時間內(nèi)，對10000個晶圓片的拓撲結構進行自動統(tǒng)計評估的有效手段，結果可以顯示出晶體生長爐的性能和材料質量的各種細節(jié)統籌推進。 

        實時的質量檢測可以幫助提高和優(yōu)化諸如擴散和鈍化等處理步驟營造一處。在運行的生產(chǎn)過程中積極影響，MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障發行速度，從而使產(chǎn)品達到的性能開展面對面。 

優(yōu)勢介紹

◆ 在不到一秒的時間內(nèi)共享，可對一個晶圓片進行全電特性測試新技術。測量參數(shù)：載流子壽命(拓撲圖)強大的功能、電阻率(雙線掃描)組合運用。

◆在非常短的時間內(nèi)獲得數(shù)以千計的晶圓片的統(tǒng)計信息可有效地幫助晶圓廠控制過程和生產(chǎn)結論。

◆適用于測量晶圓片的材料質量和諧共生，以及識別晶圓片層面的結晶問題，例如在光伏行業(yè)適應性強。

◆適用于擴散過程的完整性控制技術交流、鈍化效率和均勻性控制。

技術參數(shù)

其它細節(jié)

· 允許單片控制

· 參數(shù)自動設置豐富內涵，預定義的排序菜單

· 多達15個質量等級的晶圓片自動分揀

· 監(jiān)控材料質量、工藝的完整性和穩(wěn)定性

· 快速提升工藝和生產(chǎn)線