在線面掃和單點(diǎn)檢測應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備落地生根，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠的特點，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制

在線面掃和單點(diǎn)檢測

應(yīng)用范圍：靈活的OEM設(shè)備，用于多種不同樣品的在線壽命測量：從單晶硅到多晶硅錠有效保障，從生成態(tài)晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制大數據。標(biāo)準(zhǔn)軟件接口，易于連接到許多處理或自動(dòng)化系統(tǒng)講實踐。

MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元數字技術，可集成到各種自動(dòng)化的檢測線。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描改革創新。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送知識和技能。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測，每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒新模式。
電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是的一種應(yīng)用方向實現，同樣，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品組織了。

還有許多其他的專門應(yīng)用可能性服務體系。由于其易于集成，只需要以太網(wǎng)連接和電源搶抓機遇。

產(chǎn)品介紹

1. 各種不同的樣品分析，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片全面闡釋，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進(jìn)行檢測非常激烈。
2. MDPlinescan是一個(gè)易于集成的OEM單元，可集成到各種自動(dòng)化的檢測線引人註目。關(guān)鍵的測量參數(shù)是實(shí)時(shí)的載流子壽命掃描實力增強。
3. 樣品通常由測量頭下的傳送帶或機(jī)器人系統(tǒng)來輸送。應(yīng)用實(shí)例從晶錠到晶圓的檢測探索創新，每個(gè)晶圓的測量速度小于一秒帶來全新智能。
4. 該儀器有許多專門應(yīng)用可能性。由于其易于集成新產品，只需要以太網(wǎng)連接和電源即可去完善。例如，電池生產(chǎn)線上的來料質(zhì)量檢查是其的一種應(yīng)用方向長遠所需，同樣求索，鈍化和擴(kuò)散后的工藝質(zhì)量檢查也能用到此款產(chǎn)品。

特性

1. 允許單片調(diào)查
2. 配方的基礎(chǔ)測量
3. 監(jiān)控材料質(zhì)量規模、工藝的完整性和穩(wěn)定性

優(yōu)勢

1. 在µ-PCD或穩(wěn)態(tài)激發(fā)條件下測量少數(shù)載流子壽命和電阻率是這個(gè)工具的重點(diǎn)穩定發展。
2. 用于集成在生產(chǎn)線的多晶或單晶硅晶圓,包括材料制備，和各種工藝處理階段。
3. 小尺寸和標(biāo)準(zhǔn)的自動(dòng)化接口使集成變得容易增持能力。優(yōu)勢是長時(shí)間的可靠性和測量結(jié)果的高精度共同努力。

技術(shù)參數(shù)