CD300 等離子表面處理設(shè)備

 產(chǎn)品介紹：

• 反應(yīng)艙：
      材料：鋁
      有效尺寸：300 x 300 x 300mm
      容積：27升
      艙門：裝有可視窗口
      托盤：3個。尺寸：205 x 260 x 40mm

• 真空度測量：
      皮拉尼真空計（利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測量的不要畏懼，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)）
• 真空泵：
     旋片式真空泵服務為一體；20m³ 每小時問題。
• 頻射發(fā)生器：
      0~300w可調(diào)逐漸顯現，100KHZ發(fā)生器
• 控制系統(tǒng)：
      觸摸屏操作，PLC控制系統(tǒng)
      PLC可實現(xiàn)下列功能：
           1發展機遇、自動控制反應(yīng)過程長效機製；
  ?       2、根據(jù)處理材料設(shè)定不同的處理工藝流程全技術方案；
  ?       3分享、測定真空泵壓力、抽真空時間信息化、充氣速度方式之一、工作壓力、處理時間新型儲能、溫度創新能力、頻射發(fā)生器輸入電壓等指標(biāo)；
  ?       4範圍、監(jiān)測所有的運行指標(biāo)求得平衡，保證在設(shè)定范圍之內(nèi)；
  ?       5空間廣闊、 設(shè)定操作至關重要、維護密碼提供深度撮合服務。
• 電源：
       380V AC、三相的發生、50Hz組成部分、40A.
• 反應(yīng)氣體：
      一個氣體輸入端口，含氣體流量控制器（MFC）狀態；根據(jù)用戶需要技術節能，可擴展
• 氣體輸入：
      直徑1/4英寸（0.645厘米）管道；輸入壓力：1Bar.
• 尾氣排放：
      直徑28mm 輸出端口廣泛認同。
• 安全性能：
      急停開關(guān)國際要求；真空泵保護鎖；高溫保護鎖鍛造；CE安全認(rèn)證競爭激烈。

可選件：

• 頻射發(fā)生器：2.45GHZ, 13.56MHZ 
• 多個氣體輸入管道。
• 根據(jù)客戶工藝要求制作的軟件程序
• 根據(jù)客戶要求制作的托盤改善。
• 輥輪式載料系統(tǒng)空白區。 
• N₂ Purge.