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日本ygkcop藍(lán)寶石表面檢查儀YPI-MX系列

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日本ygkcop藍(lán)寶石表面檢查儀YPI-MX系列
YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面檢查裝置/藍(lán)寶石表面檢查裝置YPI-MX系列（手動）
用于透明透明玻璃基板的機(jī)器，還支持各種背面緞面基板自動化方案。
傳感器自動對焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離緊密協作。

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日本ygkcop藍(lán)寶石表面檢查儀YPI-MX系列

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日本ygkcop藍(lán)寶石表面檢查儀YPI-MX系列

YPI-MX系列（手動）玻璃基板/藍(lán)寶石表面檢查設(shè)備



 
YPI-MX-XY /YPI-MX-Θ
玻璃基板表面檢查裝置/藍(lán)寶石表面檢查裝置YPI-MX系列（手動）
用于透明透明玻璃基板的機(jī)器，還支持各種背面緞面基板線上線下。
傳感器自動對焦機(jī)制可實(shí)現(xiàn)高度精確的前后分離發揮重要作用。
 
 

設(shè)備規(guī)格

對應(yīng)板子尺寸
大200mm x 200mm 
（如果需要200mm以上）
掃描方式
XY掃描/Θ-X掃描（螺旋掃描）
吞吐率

 
□200mm（XY）約4分鐘
Φ200mm（Θ）2分鐘以內(nèi)
Φ150mm（Θ）1.5分鐘以內(nèi)
Φ100mm（Θ）1分鐘以內(nèi)
工作安裝
手動的
設(shè)備外形尺寸
寬900毫米x深1,000毫米x高1,757毫米
體重
約800公斤
能量消耗
約2.0kW（100V）
待檢查的基材
硅晶片，透明玻璃基板，藍(lán)寶石基板高質量，LT晶片也逐步提升，SiC等
低檢測靈敏度
透明玻璃基板0.2μm
硅晶圓0.1μm
到頂部

導(dǎo)航


  •  

橫幅空間

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山梨縣
南阿爾卑斯市K和田595-2 400-0311

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  • 其他
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