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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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公司名稱 日立高新技術(shù)（上海）國際貿(mào)易有限公司北京分公司
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廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2021/2/26 19:14:37
訪問次數(shù) 259

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化重要組成部分，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連合作，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離勃勃生機，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序極致用戶體驗，有利于生產(chǎn)自動化提供有力支撐，降低對人的依賴。

產(chǎn)品簡介

我也要發(fā)布產(chǎn)品信息

集優(yōu)異性能建議、操作簡便性品率、多樣化功能于一身日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動化功能不斷發展，可高效發(fā)揮其高性能積極影響。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察緊密協作。

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

集優(yōu)異性能越來越重要、操作簡便性、多樣化功能于一身

日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性穩定性，結(jié)合眾多的自動化功能像一棵樹，可高效發(fā)揮其高性能講故事。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉非常完善，可應(yīng)對大型樣品的觀察。

特點(diǎn)
①多功能超大樣品倉
②各種自動化功能
③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器
④觀察分子案例
⑤應(yīng)用圖例
規(guī)格

特點(diǎn)

特徴

①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉全面革新，可應(yīng)對大型樣品的觀察

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示作用，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品行業分類，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器技術特點，提高了樣品臺移動的安全性

■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯(lián)合發展邏輯，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
覆蓋整個可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化凝聚力量，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

自動調(diào)整算法經(jīng)改良后聽得進，等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動聚焦精度
搭載Inligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag新的力量，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

搭載高靈敏度UVD*便利性，支持CL觀察
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器全面展示，切換成分/凹凸等多種圖像

■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件

>■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

*配件

①多功能超大樣品倉

①標(biāo)配多功能超大樣品倉深刻認識，支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

通過更換樣品提示核心技術，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
GUI上顯示更換樣品的操作步驟應用提升。可以避免因人為的誤操作而導(dǎo)致樣品污染或損壞創造性。即使是難以檢測高度的凹凸不平的樣品或者是超大樣品發展的關鍵，也能夠輕松更換。
樣品交換倉*
選配樣品交換倉規模設備，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品帶動產業發展，大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
SU3800 / SU3900配置了樣品臺自由模式，開放了樣品臺移動的自由度十分落實。操作人員可自行判斷倍增效應，自由移動樣品臺。
※選擇樣品臺自由模式時製造業，請同時選配紅外CCD探測器優化服務策略。
紅外CCD探測器*，提高了樣品臺移動的安全性
紅外CCD探測器是用于監(jiān)控樣品倉內(nèi)部的裝置發展基礎。通過使用紅外線攝像機(jī)兩個角度入手，可以在觀察SEM圖像的同時監(jiān)視樣品倉內(nèi)部情況。為了獲得更詳細(xì)的位置積極，放大CCD圖像探索，并且移動觀察位置。

*配件

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

與GUI聯(lián)合產業，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
與GUI聯(lián)合的SEM MAP滿意度，正是因?yàn)椴捎昧藰悠穫}室導(dǎo)航相機(jī)，才得以實(shí)現(xiàn)廣角相機(jī)導(dǎo)航功能*可持續。在SEM MAP上觀察目標(biāo)位置主要抓手，可以順利地移動到任意位置上。使用大視野相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)拍攝的圖像或外部圖像構建，通過自由放大或縮小圖像創新科技，可以將大視野的彩色圖像切換到高倍率的SEM圖像。

*配件
覆蓋整個可觀察區(qū)域
相機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)通過圖像拼接功能可以實(shí)現(xiàn)大視野的SEM MAP觀察。觀察區(qū)域?yàn)橹睆?30mm（SU3800）/ 直徑200mm（SU3900），并且可以與樣品臺R一起聯(lián)動表現，移動到大型樣品的大觀察區(qū)域。
支持360度旋轉(zhuǎn)
SEM MAP操作界面可直觀的顯示樣品與探測器的位置關(guān)系強大的功能，因此在觀察高度差大的樣品時，可根據(jù)需求旋轉(zhuǎn)樣品臺或電子束來獲得的觀察分析位置解決，避免陰影效應(yīng)造成的影響預期。

②各種自動化功能

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化幅度。

■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

搭載了簡約UI結構，簡單操作重要的作用，如同觸屏般直觀。

從移動樣品臺到樣品觀察規模最大，輕輕點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可實(shí)現(xiàn)
也可觸屏操作
主窗口為1280x960像素的大窗口
可以切換顯示模式穩中求進，并且同時顯示/拍攝兩種不同的信號

■各種自動化功能

自動調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時間減少至以往的1/3以下（※S-3700N比例）
樣品安裝完成后最深厚的底氣，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像協同控製，隨后可立即獲得樣品圖像。高度自動化功能采用全新設(shè)計(jì)的演算程序品質，在執(zhí)行圖像自動調(diào)整功能時利用好，等待時間縮短到以往的1/ 3以下。
采用了新的算法開展攻關合作，提高了自動聚焦精度
　全新升級的自動聚焦調(diào)整功能製度保障，即使是以往難以調(diào)整的光滑樣品，也能夠輕松得到良好的圖像的有效手段。
搭載Inligent Filament Technology（IFT）
自動監(jiān)視燈絲的狀態(tài)統籌推進，自動控制使其一直處于性能的狀態(tài)。
搭載顯示燈絲更換時間的顯示屏關鍵技術。
通過該功能了解情況，使得原來難以對應(yīng)的長時間連續(xù)觀察以及數(shù)據(jù)分析等大范圍分析均可以安心實(shí)現(xiàn)。

■Multi Zigzag*技術研究，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

Multi Zigzag可以自動獲取連續(xù)的視野重要的。可以在不同的視野中拍攝多張高倍率圖像結論，并使用Viewer功能拼接拍攝的圖像和諧共生，創(chuàng)建大視野圖像。

*配件

Report Creator適應性強，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
在Report Creator中，可以將SEM圖像先進的解決方案，EDS數(shù)據(jù)和CCD相機(jī)圖像等采集的圖像統(tǒng)一整合拓展，生成報(bào)告。創(chuàng)建的報(bào)告可保存為Microsoft Office®格式宣講活動。保存的文件可通過Microsoft Office®進(jìn)行編輯不斷進步。

③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
SU3800 / SU3900配備了高靈敏度低真空探測器UVD效率。除了樣品表面的凹凸圖像之外規模，還可以通過檢測電子束照射樣品而產(chǎn)生的陰極熒光，來獲取CL信息講道理。
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器發展目標奮鬥，切換成分/凹凸等多種圖像技術先進。

通過采用4分割+1單元的設(shè)計(jì)，對每個單元進(jìn)行計(jì)算延伸，無需傾斜樣品認為，即可獲得成分圖像、3D圖像以及4方向凹凸圖像新趨勢。由于探測器的設(shè)計(jì)十分精巧反應能力，且靈敏度高，實(shí)現(xiàn)了高分辨率和高信噪比數字技術。

■配備了多功能超大樣品倉奮戰不懈，可以搭載多種配件

　 SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察措施。

■SEM/EDS一體化功能*

SU3800/SU3900全新研發(fā)的SEM/EDS一體化功能有所增加，通過SEM操作界面即可完成測試位置確定、條件設(shè)置更高要求、樣品分析以及生成報(bào)告等一系列操作越來越重要的位置。通過SEM的全面控制，可以提高測試效率共同學習，減輕了操作人員的負(fù)擔(dān)順滑地配合。

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

Hitachi Map 3D可對SU3800/SU3900的5分割背散射電子探測器當(dāng)中的4個不同方向的SEM信號進(jìn)行演算分析，生成三維圖像效高。支持2點(diǎn)間高度前沿技術、體積和簡易表面粗糙度（面粗糙度、線粗糙度）測量性能《喾N方式？梢淮涡越邮账膫€不同方向的信號，因此技術創新，無需傾斜樣品臺或合成圖像深入交流研討。

■支持圖像測量軟件Image pro

SU3800 / SU3900搭載了IPI，可以將SEM圖像傳輸?shù)接擅绹鳰edia Cybernetics公司開發(fā)的圖像處理軟件Image Pro廣泛應用。只需單擊一下關註度，即可將數(shù)據(jù)從SEM傳輸?shù)綀D像測量軟件。

④觀察分子案例

礦物的觀察分析案列

顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果哪些領域。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差敢於挑戰。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗色區(qū)域是對應(yīng)于錯濃度較高的區(qū)域。

⑤應(yīng)用圖例

應(yīng)用圖例

金屬材料

陶瓷材料

電子零件

生物/醫(yī)藥品

規(guī)格

ITEM		SU3800	SU3900
二級電子分解能		3.0nm（加速電壓30kV建立和完善、WD=5mm提供了遵循、高真空模式）
二級電子分解能		15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射電子分解能		4.0nm（加速電壓30kV服務效率、WD=5mm明確相關要求、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2）
加速電壓		0.3kV～30kV
低真空度設(shè)定		6～650 Pa
圖像位移		±50µm（WD＝10mm）
大樣品尺寸		200mm直徑	300mm直徑
樣品臺	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°連續(xù)
	T	－20°～+90°
	大可觀察范圍	130mm直徑（R并用）	200mm直徑（R并用）
	大可觀察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	電機(jī)驅(qū)動	5軸電機(jī)驅(qū)動
電子光學(xué)系統(tǒng)	電子槍	中心操控式鎢絲發(fā)射
	物像鏡頭光圈	4孔可動光圈
	檢測系統(tǒng)	二級電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
圖像顯示	自動光軸調(diào)整功能	自動光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自動光軸調(diào)整（實(shí)時級別對齊）
		自動調(diào)整光束亮度
	自動圖像調(diào)整功能	自動亮度和對比度控制（ABCC）
		自動對焦控制（AFC）
		自動標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF）
		自動燈絲飽和度調(diào)整（AFS）
		自動光束對準(zhǔn)（ABA）
		自動啟動（HV-ON→ABCC→AFC）
操作輔助功能		光機(jī)旋轉(zhuǎn)主要抓手、動態(tài)聚焦生產體系、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量很重要、角度測量能力和水平、文本）、預(yù)設(shè)放大異常狀況、樣品臺位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）研究、光束標(biāo)記功能
配件		■硬件:軌跡球、操縱桿應用創新、操作面板提高、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）的特性、紅外CCD探測器交流、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲提供堅實支撐、裝置臺移動限制解除功能還不大、EDS集成
配件（外部裝置）		能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）信息化技術、各種外部功能臺（加熱臺發揮作用、冷卻臺、牽引臺）

* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸逐步顯現。

* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸銘記囑托。

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

臺式電子顯微鏡
TEM/SEM樣品的前處理裝置

客戶評價列表

評價時間	類別	詳細(xì)內(nèi)容	評價者	IP地址

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掃描電子顯微鏡 SU3800/SU3900

特點(diǎn)

①多功能超大樣品倉

②各種自動化功能

③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

④觀察分子案例

⑤應(yīng)用圖例

規(guī)格

特點(diǎn)

特徴

①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉全面革新，可應(yīng)對大型樣品的觀察

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化凝聚力量，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

①多功能超大樣品倉

①標(biāo)配多功能超大樣品倉深刻認識，支持大型樣品分析

■樣品臺可搭載超大/超重樣品

■支持全視野移動,SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察

②各種自動化功能

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化幅度。

■一個鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI

■各種自動化功能

■Multi Zigzag*技術研究，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

③測試需求的應(yīng)用解決方案,探測器

③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案

■可滿足多種觀察需求的探測器

■配備了多功能超大樣品倉奮戰不懈，可以搭載多種配件

■SEM/EDS一體化功能*

■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*

■支持圖像測量軟件Image pro

④觀察分子案例

礦物的觀察分析案列

⑤應(yīng)用圖例

應(yīng)用圖例

金屬材料

陶瓷材料

電子零件

生物/醫(yī)藥品

規(guī)格

關(guān)聯(lián)產(chǎn)品分類

提示

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①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉全面革新，可應(yīng)對大型樣品的觀察

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化凝聚力量，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。

①標(biāo)配多功能超大樣品倉深刻認識，支持大型樣品分析

②隨著各種自動化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化幅度。

■Multi Zigzag*技術研究，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察

■配備了多功能超大樣品倉奮戰不懈，可以搭載多種配件