超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列
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- 公司名稱 日立高新技術(上海)國際貿易有限公司北京分公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質 其他
- 更新時間 2021/2/26 19:12:29
- 訪問次數(shù) 489
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現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240進行探討、Regulus8230落到實處、Regulus8220、Regulus8100最新。"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能技術創新,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1,可以獲得高穩(wěn)定的束流重要作用。通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng)持續向好,Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm充足。此外進展情況,為充分發(fā)揮超高分辨的能力,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1綠色化發展。Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能至關重要,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能用上了。*1*Regulus8240/8230/8220
現(xiàn)有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合提升行動,衍生而成Regulus8240、Regulus8230關註、Regulus8220研究進展、Regulus8100。
"Regulus系列"繼承了現(xiàn)有機型的觀察和分析性能連日來,配備SU8200系列的低噪音冷場發(fā)射電子槍*1互動互補,可以獲得高穩(wěn)定的束流。
通過優(yōu)化電子光學系統(tǒng),Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm深入實施,Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm至關重要。
此外,為充分發(fā)揮超高分辨的能力效果,放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1有所應。
Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能,通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理合作關系,幫助用戶充分發(fā)揮儀器的性能著力提升。
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV
項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
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二次電子分辨率 | 0.7 nm (加速電壓15 kV) 0.8 nm (著陸電壓1 kV)*3 | 0.6 nm(加速電壓 15 kV) 0.7 nm(著陸電壓 1 kV)*3 | |||||
著陸電壓 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | |||||
樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) | 5軸馬達驅動 | ||||
移動范圍 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
R | 360° | ||||||
T | -5~70° | ||||||
Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm |
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