該導航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設計圖形和FIB系統(tǒng)中的坐標位置相對開放，樣品臺就會通過鏈接移動到相應位置，就可以獲得相應位置的SIM圖像脫穎而出。同時拓展應用，CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此結構，很容易檢查到下層布線的狀態(tài)關註度，實質上提高了分析的效率，有利于進一步進行修理工作哪些領域。