Cygnus 2 新款膜厚控制儀 薄膜沉積控制器
為 OLED 應(yīng)用提供*佳測量精度
Cygnus 2 薄膜沉積控制器在 INFICON 薄膜沉積控制器可靠成熟的性能基礎(chǔ)上又進了一步，增添了更多*的功能，可幫助您實現(xiàn) OLED 過程的*大價值多元化服務體系。Cygnus 2 使用我們 ModeLock 頻率測量系統(tǒng)規劃，提供穩(wěn)定、高分辨率的速率和厚度測量大幅拓展，速率分辨率可達每 1/10 秒 0.00433 Å/s發行速度，是行業(yè)中的翹楚。Cygnus 2 具有其他石英晶體控制器*的性能與時俱進、品質(zhì)和功能性能，賦予您的過程**的可重復性。
功能
· INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得*高綜合運用、*穩(wěn)定的速率和厚度測量分辨率供給，即使在速率極低的情況下
· Auto Z 技術(shù)通過自動測定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測量的精度
· 一個 Cygnus 2 即可同時實事求是、單獨或以任何組合方式控制*多 6 個來源進行探討，無需使用兩個或三個控制器
· 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
· 10 Hz 測量
· 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
· USB 數(shù)據(jù)存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數(shù)據(jù)記錄
· 多個源厚度合計功能
· 測量低密度服務水平、低速率材料的平均速率（使用穩(wěn)定源的低速率 OLED 摻雜材料沉積*多 30 秒）
· 速率顯示分辨率可達0.001Å
· 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長的真空傳感器電纜
· 無沉積控制允許持續(xù)控制源最新，因為基片可以通過沉積室不斷循環(huán)
· 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監(jiān)控
· 可選以太網(wǎng)通信
· 符合 RoHS 標準
新款膜厚控制儀
