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Guardian™ EIES 控制器

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功能

  • 監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時沉積過程
  • 從 0.1 至 10,000 ?/s 的沉積速率
  • 集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制
  • 12 個繼電器輸出和 12 個數(shù)字輸入
  • 用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
  • 與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容

規(guī)格

類型 Guardian EIES Controller
傳感器  
工作壓力 <>-4 Torr
溫度 450° C maximum during operation and/or bakeout
尺寸(近似) 0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
絲極壽命(典型值) ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
傳感器饋入件連桿 Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
饋入件 / 法蘭 One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)
檢測器  
光電倍增管 (PMT) Hamamatsu R7518 or equivalent
光譜響應(yīng) 185 to 730 nm
檢測限值 Better than 5 fW of optical input power
PMT 增益 103 to 107 (detectors are independently adjustable)
輸出分辨率 20-bit
光入射口 Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
尺寸 2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
控制器  
傳感器

016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.

檢測器 Eight optical detector channels
控制輸出 Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
數(shù)字 I/O 12 relay outputs and 12 logic inputs
功率 100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
尺寸 19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
合規(guī)性 CE
用戶界面軟件: Windows®-based setup program included with Controller
軟件顯示沉積速率: 4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 ?/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
軟件顯示厚度: 4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 K?
用戶自備計(jì)算機(jī): Any PC with Windows® Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

零件號

Guardian EIES Controller
零件號 明細(xì)
782-900-031 用于單傳感器(標(biāo)準(zhǔn)或氣體補(bǔ)償)的 Guardian 控制器
782-900-050 用于雙傳感器(標(biāo)準(zhǔn)或氣體補(bǔ)償)的 Guardian 控制器

附件

零件號 明細(xì)
EIES Sensors
016-600-G22 Guardian 標(biāo)準(zhǔn)單傳感器和饋入件組件管理,22 in. (539 mm)方式之一,CF40 法蘭
016-601-G22 Guardian 氣體補(bǔ)償傳感器和饋入件組件,22 in. (539 mm)新型儲能,CF40 法蘭
Beam Splitters 光纖分束器可分割傳感器發(fā)出的光束以便于每個 EIES 傳感器測量多種材料創新能力。
782-900-034 Guardian 光纖分束器 (1:3) - 400 mm 長
782-900-034-x-yyy Guardian 光纖分束器 (1:x) - yyy mm 長
Filament Cables 將 EIES 傳感器連接到 Guardian 控制器
600-1406-P10 Guardian 單絲電纜,10 ft. (3 m) – 用于標(biāo)準(zhǔn) EIES 傳感器
600-1406-P40 Guardian 單絲電纜範圍,40 ft. (12 m) – 用于標(biāo)準(zhǔn) EIES 傳感器
600-1407-P10 Guardian 雙絲電纜求得平衡,10 ft. (3m) – 用于氣體補(bǔ)償 EIES 傳感器
600-1407-P40 Guardian 雙絲電纜,40 ft. (12 m) – 用于氣體補(bǔ)償 EIES 傳感器
PMT Detector
782-900-030 Guardian PMT 檢測器
PMT Detector Cables 將 PMT 檢測器連接到 Guardian 控制器
782-505-065 Guardian 檢測器電纜空間廣闊,10 ft. (3 m)
782-505-065-40 Guardian 檢測器電纜至關重要,40 ft. (12 m)
Optical Filters 選擇適合您材料的波長
782-900-035-202 光纖 - 202nm,BP10nm (Zn)
782-900-035-241 光纖 - 241nm服務品質,BP10nm(Co的發生、Au)
782-900-035-252 光纖 - 252nm,BP10nm (Si)
782-900-035-265 光纖 - 265nm影響,BP10nm(Ge新的動力、Pt、Ta發展契機、Ir)
782-900-035-267 Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294 光纖 294nm廣泛關註,BP2nm (Hf)(Ga [使用氣體補(bǔ)償傳感器時])
782-900-035-304 光纖 304nm,BP2nm(Ba發力、In [使用氣體補(bǔ)償傳感器時])
782-900-035-325 光纖 - 325nm優勢領先,BP10nm(Cu、Cd)
782-900-035-358 光纖 - 358nm共創美好,BP10nm(Nb推動並實現、U、Cr)
782-900-035-364 光纖 - 364nm覆蓋範圍,BP10nm(Ti優化程度、Pb)
782-900-035-396 光纖 - 396nm,BP10nm (Al)
782-900-035-417 光纖 - 417nm,BP2nm (Ga)
782-900-035-451 光纖 - 451nm取得明顯成效,BP5nm (In)
782-900-070 Guardian 單色儀套件

備件

零件號 明細(xì)
016-201-G1 Emitter Assembly, EIES Sensor
782-900-038 Guardian 光電倍增管更換
016-509-G22 In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
782-530-015 Guardian 傳感器絲極更換(用于中斷的 782-900-029 和 -052 傳感器)

手冊

手冊

目錄

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