全自動(dòng)探針臺(tái)SemiProbe采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用顯示。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比雙向互動，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，卡盤支架設計能力，卡盤品牌，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)更為一致，光學(xué)組件等形式，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺(tái)以其*的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求研究與應用，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案飛躍。更重要的是，PS4L可隨著測試環(huán)境和測試條件的改變進(jìn)行現(xiàn)場升級(jí)以滿足新的要求全面協議。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸重要部署，自動(dòng)化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L 也無需重新更換新的平臺(tái)工具，便可用短的時(shí)效和少的費(fèi)用完成測試互動講。

Semiprobe全自動(dòng)探針臺(tái)-量產(chǎn)型全自動(dòng)探針臺(tái)-全自動(dòng)探針臺(tái) 產(chǎn)品描述：

Semiprobe全自動(dòng)探針臺(tái)-量產(chǎn)型全自動(dòng)探針臺(tái)-全自動(dòng)探針臺(tái) 采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金和費(fèi)用像一棵樹。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比過程中，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，卡盤支架能運用，卡盤達到，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)不可缺少，光學(xué)組件的可能性，操縱器等都是可以更換的，使得 PS4L 系列探針臺(tái)以其*的靈活性和性價(jià)比滿足了多種應(yīng)用需求顯示，為客戶提供了非常經(jīng)濟(jì)適用以及完美的解決方案深刻內涵。更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)多種場景，可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí)多元化服務體系。可根據(jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級(jí)擴大公共數據，由手動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái)深度，半自動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為全自動(dòng)探針臺(tái)帶動擴大，或者6”升級(jí)為8”，8”升級(jí)為12”開拓創新，增加密閉測試倉持續發展，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求促進善治。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸擴大，自動(dòng)化的程度或者測試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L 也無需重新更換新的平臺(tái)發揮效力，便可用短的時(shí)效和少的費(fèi)用完成測試進行探討。

Semiprobe全自動(dòng)探針臺(tái)-量產(chǎn)型全自動(dòng)探針臺(tái)-全自動(dòng)探針臺(tái) PILOT控制軟件：

SemiProbe的全自動(dòng)探針系統(tǒng)使用 SemiProbe 的 PILOT 控制軟件包進(jìn)行操作，軟件和 PS4L 硬件一樣采用的是SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)化設(shè)計(jì)服務水平。PILOT 軟件包是一款模塊化最新、直觀且易操作的軟件。在不改變核心控制軟件的前提上處理方法，客戶可增添控制模塊來增加額外功能和附件重要作用。其一般的功能比如2點(diǎn)校準(zhǔn)，功能強(qiáng)大且易操作——甚至不經(jīng)常操作設(shè)備的用戶也非常容易上手關規定。

技術(shù)參數(shù)（型號(hào)：PS4L FA-6）：

• 產(chǎn)品尺寸：900 mm x 1625 mm x 2438 mm
• 重量：240Kg
• 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空：23 Hg or -0.8 bar
• 卡盤X-Y軸軌道： NEMA 17步進(jìn)電機(jī)適應能力，光學(xué)線性編碼器
• 行程:155*155mm（可升級(jí)）
• 速度：50mm/s(大)
• 平面性:±8μm
• 分辨率:0.1μm
• 精度：±3μm
• 重復(fù)性：±0.5μm
• 卡盤Z軸軌道：行程：15mm
• 分辨率：0.5μm
• 重復(fù)性：±1.5μm
• θ移動(dòng)：行程：±4°（可定制）
• 分辨率:0.00001°
• 卡盤類型：真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形有所應，三軸足了準備，高頻，高壓/高電流著力提升，高低溫等
• 壓盤：鋁和不銹鋼頂部深刻內涵，可拆卸前楔
• 360度機(jī)械手放置
• 壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)
• 線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)

可選配件：

包括探針卡融合，操縱器深入闡釋，操縱臂和基座， 探針完成的事情，激光物聯與互聯，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)改造層面，隔振臺(tái)供給，暗箱。