雙面探針系統(tǒng)基于SemiProbe的探針系統(tǒng)(PS4L)自適應(yīng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)制造先進技術，提供了*的靈活性和強(qiáng)大功能。DSP解決方案可滿足探針從兩側(cè)不合理波動；探針從頂部宣講手段，檢測(cè)輸出從底部；探針從底部前沿技術，檢測(cè)輸出從頂部的雙側(cè)測(cè)試需求基礎。與傳統(tǒng)的探針系統(tǒng)不同，該系統(tǒng)所有的基礎(chǔ)模塊——基座多種方式、卡盤支架對外開放、卡盤、顯微鏡支架深入交流研討、顯微鏡移動(dòng)資料、光學(xué)元件、操縱器等都是可更換升級(jí)的關註度。這使得DSP能為許多不同應(yīng)用提供完美的解決方案橫向協同。*的模塊化設(shè)計(jì)使客戶能夠獲得精確滿足其要求的定制系統(tǒng)。更重要的是橋梁作用，隨著環(huán)境或測(cè)試條件的變化長遠所需，PS4L可以很容易地進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，以滿足新的需求讓人糾結。
Semiprobe雙面探針臺(tái)-雙面量測(cè)探針臺(tái)產(chǎn)品描述：
Semiprobe雙面探針臺(tái)-雙面量測(cè)探針臺(tái) 基于SemiProbe的探針系統(tǒng)(PS4L)自適應(yīng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)制造規模，提供了*的靈活性和強(qiáng)大功能。目前基石之一，越來越多的應(yīng)用要求能夠從模具或晶片的兩面進(jìn)行探測(cè)聯動。SemiProbe的DSP解決方案可滿足以下需求：
- 探針從兩側(cè)
- 探針從頂部增持能力，檢測(cè)輸出從底部
- 探針從底部，檢測(cè)輸出從頂部的雙側(cè)測(cè)試需求行業內卷。
Semiprobe雙面探針臺(tái)-雙面量測(cè)探針臺(tái) 與傳統(tǒng)的探針系統(tǒng)不同追求卓越，該系統(tǒng)所有的基礎(chǔ)模塊——基座、卡盤支架參與能力、卡盤合理需求、顯微鏡支架、顯微鏡移動(dòng)研究、光學(xué)元件高效、操縱器等都是可更換升級(jí)的。這使得DSP能為許多不同應(yīng)用提供完美的解決方案提高。*的模塊化設(shè)計(jì)使客戶能夠獲得精確滿足其要求的定制系統(tǒng)。更重要的是的特性，隨著環(huán)境或測(cè)試條件的變化交流，PS4L探針系統(tǒng)可以很容易地進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，以滿足新的需求提供堅實支撐。與傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備相比還不大，能夠讓客戶節(jié)約更多時(shí)間，更多成本信息化技術。
雙面探針系統(tǒng)（DSP）的發(fā)展：
雙面探針系統(tǒng)（DSP）初是用于兩個(gè)應(yīng)用：失效分析和離散設(shè)備發揮作用。失效分析（FA）的應(yīng)用涉及到發(fā)射顯微鏡，它需要接觸晶圓的頂部或活動(dòng)面逐步顯現，同時(shí)使用增強(qiáng)型或紅外相機(jī)從另一側(cè)成像銘記囑托。晶圓片安裝時(shí)通常背面朝上朝向發(fā)射相機(jī)，而上部朝下自動化裝置。這簡(jiǎn)化了查找故障位置和確定故障根本原因的過程示範。包括SemiProbe在內(nèi)的一些公司都有這種應(yīng)用的解決方案。根據(jù)發(fā)射顯微鏡的類型和制造商高質量，探測(cè)的一面可以是頂面或底面提供了有力支撐。
第二種類型的DSP系統(tǒng)用于探測(cè)分立大功率器件，包括晶閘管前景、二極管進一步意見、整流器、電壓抑制器共享應用、功率晶體管和/或IGBT生產能力。由于測(cè)試這些設(shè)備所用的功率，通過偏置卡盤進(jìn)行普通背面接觸是無法獲得準(zhǔn)確的結(jié)果的取得了一定進展。通過單獨(dú)接觸DUT（被測(cè)設(shè)備）的背面完善好，可獲得準(zhǔn)確的結(jié)果大面積。此外，由于這些測(cè)試中所使用的功率問題分析，通常需要多個(gè)探頭培養。
隨著半導(dǎo)體行業(yè)不斷努力在降低成本的同時(shí)提高設(shè)備的性能，新技術(shù)正在成為產(chǎn)品設(shè)計(jì)和生產(chǎn)的主流更加完善，這些新技術(shù)需要DSP解決方案——MEMS形式、光電子、硅通孔等等支撐作用。另一個(gè)新興的DSP應(yīng)用涉及在晶圓上方或下方安裝太陽模擬器頭日漸深入，以刺激另一面偏壓的裝置。在設(shè)計(jì)工作和表征方面同時，SemiProbe已開創(chuàng)了一些創(chuàng)新的DSP解決方案來探測(cè)這些設(shè)備互動式宣講。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 可靈活改變測(cè)試尺寸
- 支持雙面探針測(cè)試
- 模塊化設(shè)計(jì)，可以更換關(guān)鍵部件
- 結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔模式，方便操作
應(yīng)用范圍：
- 光伏工業(yè)
- 材料科學(xué)
- 光電行業(yè)
- 失效分析
- 通信器件測(cè)試
- 微機(jī)電技術(shù)
Semiprobe雙面探針臺(tái)-雙面量測(cè)探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)：
- 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
- 空氣:小流量100psi
- 真空：23 Hg or -0.8 bar
- 卡盤X-Y軸軌道：手動(dòng)或編程控制
- 行程:205*205mm
- 卡盤Z軸軌道：手動(dòng)或編程控制
- 行程：可達(dá)20mm
- θ移動(dòng)：手動(dòng)（＞30°）或編程控制（±4°）
- 顯微鏡移動(dòng)：手動(dòng)或編程控制
- 行程：50x50mm-200x200mm
- 卡盤載體：75mm自動化，100mm，150mm高品質，200mm
- 部分晶圓片
- 芯片托盤
- 壓盤材料：鋁與鍍鎳鋼
- 光學(xué)元件：
- 顯微鏡：大多數(shù)為立體變焦不折不扣，100x放大倍數(shù)
- 底部：數(shù)碼變焦鏡
- 相機(jī)：兩個(gè)光學(xué)元件都有CCTV相機(jī)，通過視頻開關(guān)連接到顯示器上
可選配件：
包括隔振臺(tái)資源優勢、暗箱高效利用、探針卡、操縱器估算、探測(cè)臂和基座數字化、探針，光學(xué)部件營造一處，CCTV 系統(tǒng)改革創新、其他晶圓片載體等
標(biāo)簽:探針臺(tái)隔振隔振臺(tái)
