公司介紹：

德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司自主研發。通過使用X 射線和激光LIGA技術(shù)確定性，Microworks為客戶提供高精度微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。在微納米技術(shù)領(lǐng)域損耗，Microworks代表著高精度講故事。在一個(gè)晶片內(nèi)或者從一個(gè)晶片到另一個(gè)晶片，其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1µm性能穩定。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵全面革新、微齒輪、雙曲型電極情況正常、精密篩建設項目、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧落實落細，RF等相結合。

產(chǎn)品介紹：

X射線光柵的制作流程

吸收光柵

（a）準(zhǔn)備光柵膠層

（b）掩膜光刻膠層在X射線下曝光

（c）形成精細(xì)的光刻膠結(jié)構(gòu)

（d）電鍍金形成X射線光柵結(jié)構(gòu)