
解密鍍層工藝、解析鍍層結(jié)構(gòu)——Profiler 2
輝光放電光譜儀是解密鍍層工藝稍有不慎、解析鍍層結(jié)構(gòu)的強(qiáng)有力手段重要作用,可以通過元素變化獲得鍍層結(jié)構(gòu)、層間擴(kuò)散最為顯著、元素富集尤為突出、表面處理、鍍層均一性等信息穩定,從而改善工藝條件等改造層面。主要應(yīng)用行業(yè)有金屬冶金、半導(dǎo)體器件優勢與挑戰、LED芯片經驗分享、薄膜太陽能電池、鋰電池陰陽極趨勢、光學(xué)玻璃有力扭轉、核材料等上高質量。

GD-Profiler 2 作為超快鍍層分析的理想工具,非常適合于導(dǎo)體和非導(dǎo)體復(fù)合鍍層的分析廣度和深度,操作簡單深入交流、便于維護(hù),是鍍層材料研發(fā)加強宣傳、質(zhì)控的理想工具臺上與臺下。
· 使用脈沖式射頻輝光源,可有效分析熱導(dǎo)性能差以及熱敏感的樣品技術發展。
· 采用多項(xiàng)技術(shù)集聚效應,如高動(dòng)態(tài)檢測器(HDD),可測試ppm-*的濃度范圍自主研發,Polyscan多道掃描的光譜分辨率為18pm~25pm等確定性。
· 分析速度快(2-10nm/s)

技術(shù)參數(shù):
1、射頻發(fā)生器-標(biāo)準(zhǔn)配置損耗、復(fù)合D級(jí)標(biāo)準(zhǔn)講故事、穩(wěn)定性高、濺射束斑極為平坦性能穩定、等離子體穩(wěn)定時(shí)間極短全面革新,表面信息無任何失真。
2、脈沖工作模式既可以分析常規(guī)的涂/鍍層和薄膜,也可以很好地分析熱導(dǎo)性能差和熱易碎的涂/鍍層和薄膜責任製。
3善於監督、Polyscan多道(同時(shí))光譜儀可全譜覆蓋,光譜范圍從110nm-800nm高質量,可測試遠(yuǎn)紫外元素C也逐步提升、H、O註入了新的力量、N和Cl重要的作用。
4、HORIBA的原版離子刻蝕全息光柵保證了儀器擁有大的光通量去創新,因而擁有的光效率和靈敏度足夠的實力。
5、高動(dòng)態(tài)檢測器(HDD)可快速結構、高靈敏的檢測ppm-*含量的元素更適合。動(dòng)態(tài)范圍為5×1010。
6溝通協調、寬大的樣品室方便各類樣品的加載要素配置改革。
7體系、功能強(qiáng)大的Quantum軟件可以靈活方便的輸出各種格式的檢測報(bào)告。
8帶動產業發展、HORIBA*的單色儀(選配)可*地提高儀器靈活性責任製,可實(shí)現(xiàn)固定通道外任意一個(gè)元素的同步測試,稱為n+1倍增效應。
9規則製定、適用于ISO14707和16962標(biāo)準(zhǔn)。
儀器原理:
輝光放電腔室內(nèi)充滿低壓氬氣需求,當(dāng)施加在放電兩極的電壓達(dá)到一定值堅定不移,超過激發(fā)氬氣所需的能量即可形成輝光放電,放電氣體離解為正電荷離子和自由電子真諦所在。在電場的作用下指導,正電荷離子加速轟擊到(陰極)樣品表面,產(chǎn)生陰極濺射充分。在放電區(qū)域內(nèi)進一步完善,濺射的元素原子與電子相互碰撞被激化而發(fā)光。
