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原位電鏡等離子清洗機

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原位電鏡等離子清洗機 GV10x去除碳和碳氫污染的效率是傳統(tǒng)方法的10-20倍形勢,排除了SEM圖像的干擾和成像中的黑色掃描框,保持SEM成像的高分辨率和穩(wěn)定性取得明顯成效;排除聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳干擾約定管轄。

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全新的*: 原位等離子清洗系統(tǒng)GV10X

GV10x 是由美國ibss Group公司與具有*的等離子源*共同合作開發(fā)并生產(chǎn)的新一代原位等離子技術(shù)清洗系統(tǒng)。GV10x可以在分子泵運行的真空狀態(tài)下工作創新的技術,GV10x去除碳和碳氫污染的效率是傳統(tǒng)方法的10-20倍發揮,且具有價格優(yōu)勢。排除了SEM圖像的干擾和成像中的黑色掃描框快速增長,保持SEM成像的高分辨率和穩(wěn)定性開放以來;排除聚焦離子束(FIB)和透射電子顯微鏡(TEM)中的碳干擾。

亮點:
功率:5 -99 W 連續(xù)可調(diào)等離子功率


工作環(huán)境:- 2 Torr to <5 mTorr (等離子源處真空度)
在較高的真空度下(大于50 毫托)高質量,清洗氣體的平均自由程很短提供了有力支撐,允許在靠近等離子源的區(qū)域去除污染。
在較低的真空度下(小于50 毫托)前景,清洗氣體的平均自由程比較長進一步意見,能均勻高效的清除碳污染。
整個清洗反應過程發(fā)生在分子泵運行的狀態(tài)下共享應用,無需關(guān)閉抽真空系統(tǒng)生產能力。


柔和:使用中性氧或氫的自由基通過非動力學過程灰化氣相碳氫化合物和表面碳。




Ibss group公司引進Gentle Asher 腔體拓展了GV10x的應用示範推廣,用以清潔放入電子顯微鏡腔體前的樣品堅持好。連接了GV10x的Gentle Asher™腔體 GA/GV 可以*地防止黑色掃描方框的生成。在將電鏡腔清潔到可接受的碳氫污染水平后積極參與,可以使用順流工藝問題分析,通過簡單地將GV10x源移動到Gentle Asher腔中,達到樣品清潔和儲存的目的進一步推進蜃饔??蛻舻膱蟾媛暦Q這種有效的結(jié)合以更少的損傷巧妙地去除TEM樣品臺和任何類型樣品的污染,同時保持CDSEM應用的選擇、 SEM十大行動、FIB 和TEM中碳氫污染水平的易控制性。預清潔樣品和樣品臺避免了污染電鏡腔體背景下,這樣就延長了電鏡清洗的周期綜合措施。




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