紫外臭氧清洗機(jī)（UVO）作用，是一種簡(jiǎn)單情況正常，經(jīng)濟(jì)，快速高效的材料表面清洗設(shè)備發揮重要作用，能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材（比如石英，硅片數據顯示，金高質量，鎳，鋁更多的合作機會，砷化鎵延伸，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。CIF紫外臭氧清洗機(jī)采用長(zhǎng)壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈服務好，樣品臺(tái)高度可調(diào)并可選加熱控溫新趨勢，以便達(dá)到清洗效果。

UVO9T CIF紫外臭氧清洗機(jī)

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 可編程數(shù)字控制器共謀發展，設(shè)置操作簡(jiǎn)單方便學習，四鍵操作控制。

u 數(shù)字計(jì)時(shí)顯示清洗時(shí)間聽得懂，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間應用優勢。

u 任何時(shí)間可以手動(dòng)中斷處理過(guò)程。

u 自動(dòng)記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置全方位。

u 樣品臺(tái)可控溫（可選）高效節能，控溫范圍RT-260℃，控溫精度0.1℃大局。

u 上置式樣品臺(tái)設(shè)計(jì)新創新即將到來，360度自由放置樣品，操作方便有序推進。

u 樣品臺(tái)高度可調(diào)設施，通過(guò)調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置堅定不移，位置可鎖定規模設備。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時(shí)指導。

u 高強(qiáng)度UV燈源競爭力，波長(zhǎng)185nm和254nm。

u UV反射罩（長(zhǎng)X寬）比UV格柵燈大2.5cm進一步完善，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm集聚。

u 雙重安全保護(hù)，當(dāng)清洗腔打開(kāi)時(shí)調整推進，系統(tǒng)安全鎖會(huì)關(guān)掉UV燈狀況，并有燈光通斷提示機製性梗阻。

u 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)，可接入氧氣全過程，增加臭氧產(chǎn)量提供了遵循。

u 可選臭氧中和器，用于臭氧清除大型。

u 可根據(jù)客戶(hù)要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔服務效率。 

UVO9T CIF紫外臭氧清洗機(jī)技術(shù)參數(shù)

注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺(tái)不帶加熱功能，樣品臺(tái)高度不可調(diào)重要意義；UVOP可選配樣品臺(tái)加熱功能統籌發展，樣品臺(tái)高度可調(diào)；UVOT標(biāo)配樣品臺(tái)加熱功能體系，樣品臺(tái)高度可調(diào)生產製造。