CIF紫外臭氧清洗機(jī)采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈堅持先行，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫，以便達(dá)到較佳清洗效果。

UVO9 紫外臭氧清洗機(jī)

紫外臭氧清洗機(jī)（UVO）帶動擴大，是一種簡單，經(jīng)濟(jì)高品質，快速高效的材料表面清洗設(shè)備有很大提升空間，能快速去除大多數(shù)無機(jī)基材（比如石英，硅片配套設備，金更優質，鎳，鋁推進高水平，砷化鎵脫穎而出，氧化鋁等）上的有機(jī)污染物。

CIF紫外臭氧清洗儀采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈生產創效，樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫結構，以便達(dá)到清洗效果。

產(chǎn)品特點(diǎn)

u 可編程數(shù)字控制器優化上下，設(shè)置操作簡單方便能力建設，四鍵操作控制。

u 數(shù)字顯示清洗時(shí)間生產體系，1-999分鐘之間可自行設(shè)置清洗時(shí)間服務。

u 任何時(shí)間可以手動中斷處理過程。

u 自動記錄之前清洗參數(shù)設(shè)置能力和水平。

u 樣品臺可控溫（可選）覆蓋，控溫范圍RT-260℃異常狀況，控溫精度0.1℃。

u 上置式樣品臺設(shè)計(jì)流動性，360度自由放置樣品鍛造，操作方便。

u 樣品臺高度可調(diào)持續創新，通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距改善，可以合理定位樣品高度和位置，位置可鎖定協調機製。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈信息化，燈管壽命大約為8000小時(shí)。

u 高強(qiáng)度UV燈源高質量，波長185nm和254nm充分發揮。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大2.5cm，比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm管理。

u 雙重安全保護(hù)設計，當(dāng)清洗腔打開時(shí)，系統(tǒng)安全鎖會關(guān)掉UV燈改進措施，并有燈光通斷提示就此掀開。

u 帶進(jìn)&出氣口雙氣路設(shè)計(jì)，可接入氧氣今年，增加臭氧產(chǎn)量穩步前行。

u 可選臭氧中和器，用于臭氧清除動手能力。

u 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應(yīng)腔逐步改善。

技術(shù)參數(shù)

注：UVO型基礎(chǔ)型樣品臺不帶加熱功能，樣品臺高度不可調(diào)提升；UVOP可選配樣品臺加熱功能大大提高，樣品臺高度可調(diào)；UVOT標(biāo)配樣品臺加熱功能研究成果，樣品臺高度可調(diào)取得了一定進展。