序號(hào)項(xiàng)目真空擴(kuò)機(jī)組技術(shù)參數(shù)機(jī)組所配各泵技術(shù)參數(shù)
主泵前級泵
01設(shè)備名稱高真空機(jī)組油擴(kuò)散泵旋片真空泵
02 型號(hào)JKT200KT-2002X-15
03極限壓力6.7×10-4 Pa6.7×10-4 Pa1 Pa
05功率4 Kw加熱功率1.6-2Kw1.5Kw
06 機(jī)組抽速600 L/S2000 L/S（裸泵抽速）15 L/S

序號(hào)

項(xiàng)目

高真空機(jī)組技術(shù)參數(shù)

真空擴(kuò)散泵

機(jī)組所配各泵技術(shù)參數(shù)

主泵

前級泵

01

設(shè)備名稱

高真空機(jī)組

油擴(kuò)散泵

旋片真空泵

02

型號(hào)

JKT200

KT-200

2X-15

03

極限壓力

6.7×10-4 Pa

6.7×10-4 Pa

1 Pa

05

功率

4 Kw

加熱功率1.6-2Kw

1.5Kw

06       

機(jī)組抽速

600 L/S

2000 L/S（裸泵抽速）

15 L/S

07

啟動(dòng)真空

10 Pa

常壓

08

預(yù)熱時(shí)間

≤35min

09

高真空機(jī)組配置

名稱

型號(hào)

數(shù)量

備注

油擴(kuò)散泵

KT200

1臺(tái)

旋片真空泵

2X-15

1臺(tái)

冷阱

SD-200

1個(gè)

氣動(dòng)擋板閥

GDQ-S200

1個(gè)

高閥

氣動(dòng)擋板閥

GDQ-J50

1個(gè)

預(yù)抽閥

氣動(dòng)擋板閥

GDQ-J50

1個(gè)

前級閥電磁壓差閥

DYC-Q50

1個(gè)連接管路發揮重要作用、波紋管

1套

復(fù)合真空計(jì)

ZDF-5227

1臺(tái)

電控柜

1臺(tái)