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- 公司名稱 科睿技術(shù)發(fā)展有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
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- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2016/1/13 16:00:00
- 訪問(wèn)次數(shù) 1132
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儀器為光譜型橢偏儀建強保護,它的設(shè)計(jì)緊湊、易于使用生產效率,可以精確測(cè)量膜層的厚度和折光系數(shù)使命責任。
薄膜厚度范圍:1納米 – 8 微米;
厚度分辨率為0.1納米使用;
測(cè)量速度: 5 – 15秒強化意識;
重現(xiàn)性: cos(Delta) ±0.0003, tan(Psi) ± 0.0002 (Si上70納米SiO2);
光譜范圍: 450納米 – 900納米(其他波長(zhǎng)范圍可以選配)機製性梗阻;
角度: 70° (其他角度可以選配)機製;
Mapping功能: 6”/12” 選配,準(zhǔn)確度±10微米,光學(xué)編碼全自動(dòng)控制探討;
光學(xué)顯微鏡: 不同放大倍數(shù)選配不負眾望;
軟件: 一鍵厚度測(cè)量,易于使用調解製度,多等級(jí)用戶管理精準調控,多種數(shù)學(xué)模型構(gòu)建;
關(guān)于橢圓偏光法
橢圓偏光法是基于測(cè)量偏振光經(jīng)過(guò)樣品反射后振幅和相位的改變研究材料的性質(zhì)應用的因素之一。光譜型橢偏儀在全部光譜范圍內(nèi)(而不是特定的波長(zhǎng))測(cè)量Psi和Delta解決,通過(guò)構(gòu)建物理模型對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合分析,zui終得到膜厚敢於監督、折光系數(shù)幅度、吸收、粗糙度重要的作用、組成比率等結(jié)果貢獻。
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