該系統(tǒng)利用掃描探針顯微鏡光杠桿位移檢測技術和超平整參照面-大型樣品臺掃描技術創造性，并與壓電陶瓷(PZT)掃描*結合發展的關鍵，可以再不喪失精度的情況下，即得到超大樣品整體三維輪廓圖規模設備，又呈現(xiàn)局部三維形貌像真諦所在。其中樣品臺掃描參考平面使用超高平坦度光學拋光平臺，有效解決了以往樣品臺掃面競爭力，由于絲杠公差引起的測試結果有亞微米量級的誤差充分。

三維表面形貌/輪廓儀主要應用在金屬材料、生物材料集聚、聚合物材料競爭力、陶瓷材料等各種材料表面的薄膜厚度，臺階高度哪些領域，二維粗糙度(Ra,Rq,Rmax...)敢於挑戰，三維粗糙度(Sa,Sq,Sm

1、常規(guī)的接觸式輪廓儀和掃描探針顯微鏡技術的*結合
2建立和完善、雙模式操作（針尖掃描和樣品臺掃描）提供了遵循，即使在長程測量時也可以得到*化的小區(qū)域三維測圖
3、針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式大型，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm服務效率。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm明確相關要求。
4、在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察
5統籌發展、針尖掃描采用雙光學傳感器深化涉外，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（zui猩a製造。?１nm ）
6開展試點、軟件設置恒定微力接觸
7、簡單的2步關鍵操作具有重要意義，友好的軟件操作界面


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