NanoMap-D掃描三維表面輪廓儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備既可以
用于科學研究的特性，也可以用于工業(yè)產品的檢測交流。
1、三維表面結構：粗糙度,波紋度提供堅實支撐，表面結構還不大，缺陷分析，晶粒分析等
2信息化技術、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等
3發揮作用、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度，透明薄膜下的表面
4逐步顯現、薄膜和厚膜的臺階高度測量
5銘記囑托、劃痕形貌，摩擦磨損深度快速增長、寬度和體積定

NanoMap-D掃描三維表面輪廓儀是用于表面結構測量和表面形貌分析的一款測量計量型設備開放以來。既可以
用于科學研究，也可以用于工業(yè)產品的檢測高質量。 
1提供了有力支撐、三維表面結構：粗糙度,波紋度，表面結構前景，缺陷分析進一步意見，晶粒分析等 
2、二維圖像分析：距離,半徑,斜坡,格子圖, 輪廓線等 
3大大提高、表界面測量：透明表面形貌,薄膜厚度的必然要求，透明薄膜下的表面 
4、薄膜和厚膜的臺階高度測量 
5取得了一定進展、劃痕形貌完善好，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量 
6積極參與、微電子表面分析和MEMS表征

主要特點：

高精度 
· 的縱向分辨率：0.1 nm （ 接觸式）問題分析；2 nm（光學非接觸式） 
· 對周圍環(huán)境和光源的強適應性 
· 沒有機械過濾 
寬闊的垂直測量范圍 
· 多種選擇光學頭及接觸式 
· 縱向掃描范圍 300 to 3900 μm 
· 圖像“縫合”技術使再大的表面也能呈現(xiàn)在一幅圖像內 
試用于幾乎所有的表面 
· 透明培養，不透明，反射光強等多種材料 
· 垂直臺階更加完善，高寬深比形式，隆起，孔洞 
· 脆性的材料支撐作用，軟材料日漸深入，柔性材料表面 
· 尖銳的，堅硬的同時，磨損的表面 
適應性強 
· 白光光源互動式宣講，人體安全設計，長壽命白光LED 免維護模式∽詣踊?？梢杂糜诟鞣N環(huán)境的實驗室，甚至工業(yè)生產環(huán)境高品質。 
· 接觸式輪廓儀和非接觸式輪廓儀技術的*結合 
· 接觸式輪廓儀針尖掃描采用精確的壓電陶瓷驅動掃描模式不折不扣，三維掃描范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm。樣品臺掃描使用高級別光學參考平臺能使長程掃描范圍到50mm資源優勢。 
· 在掃描過程中結合彩色光學照相機可對樣品直接觀察 
· 針尖掃描采用雙光學傳感器形式，同時擁有寬闊測量動態(tài)范圍（zui大至500μm）及亞納米級垂直分辨率　（zui蟹浅Ｖ匾?。?/span>.１nm ） 
· 軟件設置恒定微力接觸（0.1 to 100 [mg]）

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