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SE103通用型壓力芯片

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產(chǎn)品描述: SE103是一款用于表壓(相對(duì))或絕壓測(cè)量的壓阻式壓力傳感器芯片

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產(chǎn)品描述:


SE103是一款用于表壓(相對(duì))或絕壓測(cè)量的壓阻式壓力傳感器芯片更優質。該傳感器芯片采用 6 英寸晶圓競爭力所在,通過 MEMS工藝制造而成。

SE103 的壓力腔和硅膜片是一體的實力增強,這使得 SE103 具有很好的非線性誤差體系流動性,并且可用于表壓或差壓測(cè)量探索創新。

SE103 是無補(bǔ)償?shù)膫鞲衅餍酒瑤砣轮悄?,其電橋是帶?個(gè)焊盤的閉橋電路。



產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo):

參數(shù)

單位

技術(shù)指標(biāo)

量程

bar

0~2.5新產品,~6去完善,~10~16長遠所需,~25求索,~60

壓力類型

 

表壓, 絕壓

安全過載

%fs

200

爆破壓力 

%fs

300

滿量程輸出(fso

mV

≥60mV @ 5Vdc

激勵(lì)

電壓

Vdc

5(典型值),2.5~7.5Vdc

電流

mA

1(典型值)穩定發展, 0.5~1.5mA

零點(diǎn)漂移

mV

±4mV/V

非線性誤差

fs%

±0.15

遲滯性誤差

fs%

±0.05

重復(fù)性誤差

fs%

±0.05

長期穩(wěn)定性

fs%/

±0.2

橋路電阻

Ω

5±1

儲(chǔ)存溫度范圍

°C

-45~ +120

工作溫度范圍

°C

-45~ +120

橋阻溫漂系數(shù)

R%/°C

0.15±0.05

零點(diǎn)漂移溫漂系數(shù)

fso%/°C

±0.05

靈敏度溫漂系數(shù)

fso%/°C

|-0.05|

零點(diǎn)漂移熱遲滯

fso%/°C

±0.2


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