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非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

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TalysurfCCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀,一臺(tái)的光學(xué)儀作用,采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法情況正常,對(duì)拋光的、粗糙的、曲面的提高鍛煉、平面的發展邏輯、或者臺(tái)階的表面進(jìn)行掃描,獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)

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Talysurf CCI非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓儀有所提升,一臺(tái)的光學(xué)儀記得牢,采用了創(chuàng)新的相關(guān)相干算法,對(duì)拋光的重要的作用、粗糙的、曲面的去創新、平面的足夠的實力、或者臺(tái)階的表面進(jìn)行掃描,獲取表面的三維形貌數(shù)據(jù)結構。

型號(hào)

CCI

測(cè)量方法

相關(guān)相干干涉(CCI)

Z軸分辨率

0.01nm

Z軸測(cè)量范圍

2.2nm

RMS重復(fù)性

<0.02nm

測(cè)量面積(X.Y)

6.6x6.6mm

特點(diǎn) 非壓電陶瓷閉環(huán)Z軸控制更適合,提高精度,不易損壞
應(yīng)用范圍 MEMS, 芯片溝通協調,膜厚要素配置改革,鏡頭和玻璃表面分析,磨損測(cè)試和摩擦學(xué)保障性,材料分析帶動產業發展,太陽(yáng)能電池,等

非接觸式光學(xué)干涉表面輪廓形貌儀

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